Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС - page 17

Альберт Геннадьевич Пшенников — инженер отдела разработки технологических
процессов.
A.G. Pshennikov — engineer of department for development of technological processes.
Вадим Анатольевич Шахнов — чл.-корр. РАН, д-р техн. наук, профессор, заведующий
кафедрой “Проектирование и технология производства электронной аппаратуры”
МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор более 180 научных работ в области проектирования
и технологии электронных средств.
V.A. Shakhnov — corresponding member of the Russian Academy of Sciences, D. Sc.
(Eng.), professor, head of “Design and Technology of Production of Electronic Apparatus”
department of the Bauman Moscow State Technical University. Author of more than 180
publications in the field of design and technology of production of electronic aids.
36 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2012. № 2
1...,7,8,9,10,11,12,13,14,15,16 17
Powered by FlippingBook