СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. L i Y. Microelectronic applications of chemical-mechanical planarization. – Wiley
Interscience, 2008. – 734 p.
2. C h i a n g C. C., K a w a J. Design for manufacturability and yield for nano-scale
CMOS. – Springer, 2007. – 251 p.
3. D e J u l e R u t h . Dual-damascene: overcoming process issues / Ruth
DeJule: [Электронный ресурс]. (
-
Dual_Damascene_Overcoming_Process_Issues.php). Проверено 09.04.2010.
4. M e t h o d for fabrication of damascene interconnects and related structures [Text]:
Patent No. 6’380’078 B1 USA : Int. Cl. H01I.21/4763 / Q. Z. Liu ; Assignee:
Conexant System Inc., Newport Beach, CA (US). – Filled: May 11, 2000; Date of
Patent Apr. 30, 2002.
5. O u m a D. O. Modeling of chemical mechanical polishing for dielectric
planarization. Dis. PhD in Electrical Engineering and Computer Science / Dennis
Okumu Ouma; Massachusetts Institute of Technology – Massachusetts, 1998. – 228 p.
6. S m i t h T. H. Device independent process control of dielectric chemical mechanical
polishing. – Massachusetts Institute of Technology, 1999. – 162 p.
7. T i m o s h e n k o S. P, G o o d i e r J. N. Theory of Elasticity, 3rd Int.Ed. –
McGraw-Hill Book Company, Chap. 12, 1970.
8. P r e s t o n F. W., S o c J. Glass Tech. – 1927. – Vol. 11. – 214 p.
9. M a t l a b & Toolboxes: Основы работы в Curve Fitting Toolbox: [Электронный
ресурс]. (
). Проверено 07.09.2010.
Статья поступила в редакцию 6.12.2011
Алексей Владимирович Амирханов окончил в 1971 г. Московский физико-
технический институт. Канд. физ.-мат. наук, руководитель группы “Отдела проек-
тирования интегральных микросхем и структур”. Автор более 50 научных работ в
области разработки и моделирования полупроводниковых приборов и микросхем.
A.V. Amirkhanov graduated from the Moscow Physics and Technology Institute in 1971.
Ph. D. (Phys.-Math), head of group of Department for Design of Integrated Circuits
and Structures. Author of 50 publications in the field of development and simulation of
semiconductor devices and integrated circuits.
Алексей Алексеевич Гладких окончил в 2011 г. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Аспирант
кафедры “Проектирование и технология производства электронной аппаратуры”
МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор семи научных работ в области моделирования тех-
нологических процессов производства СБИС.
A.A. Gladkikh graduated from the Bauman Moscow State Technical University in
2011. Post-graduate of “Design and Technology of Production of Electronic Apparatus”
department of the Bauman Moscow State Technical University. Author of 7 publications
in the field of simulation of technological processes of VLSIC production.
Владимир Васильевич Макарчук окончил в 1970 г. Московский институт электрон-
ного машиностроения. Канд. техн. наук, доцент кафедры “Проектирование и техно-
логия производства электронной аппаратуры” МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор более
40 научных работ в области автоматизации проектирования интегральных микро-
схем.
V.V. Makarchuk graduated from the Moscow Institute of Electronic Machine Building
in 1970. Ph. D. (Eng.), assoc. professor of “Design and Technology of Production of
Electronic Apparatus” department of the Bauman Moscow State Technical University.
Author of more than 40 publications in the field of automation of design of integrated
circuits.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2012. № 2 35
