Использование метода лазерного зондирования при технологическом контроле формы асферических поверхностей оптических деталей - page 5

— возможность объективных измерений и регистрация с докумен -
тированием результатов измерений;
— возможность автоматизации процесса измерений ;
— возможность проведения измерений в условиях цехов и завод -
ских лабораторий, где не всегда возможно применение высокоточных
интерференционных методов контроля и устройств [3, 5].
Теоретический анализ преобразования сигналов оптико-электрон -
ной системой схемы контроля выполнен при следующих предположе-
ниях.
Бездефектная форма контролируемой поверхности преобразует па -
дающий на нее волновой фронт в сферическую волну, которая сходится
в точке плоскости Гаусса. В то же время, любая реальная поверхность в
силу наличия отклонений формы преобразует волновой фронт в волну,
отличающуюся от сферической.
Будем рассматривать (рис. 2) контролируемую поверхность 1 как
дифракционно-ограниченную систему, в которой совпадают входной
и выходной зрачки квадратной формы. Сторона квадрата имеет длину
2b. Диафрагма 2 имеет форму квадрата со стороной 2а. Источник осве -
щает поверхность 1 когерентным излучением. Плоскость Гаусса опи -
сывается системой координат OxF yF и совпадает с плоскостью моду -
лятора анализатора изображений (МАИ) 3. Система координат OxМyМ
связана с модулятором 3. МАИ — секторный растр , вращающийся с
постоянной угловой скоростью, он имеет пространственный период Т .
Рис. 2. Схема формирования сигнала в оптико-электронном тракте устройства:
1 — контролируемая поверхность; 2 — диафрагма (условный источник ); 3 — МАИ;
4 — приемник излучения; ~n — вектор нормали к идеальной поверхности ; ~np — вектор
нормали к реальной поверхности
40 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н .Э. Баумана . Сер. "Приборостроение". 2004. № 2