Использование метода лазерного зондирования при технологическом контроле формы асферических поверхностей оптических деталей - page 4

виду
,
например
,
угла отклонения нормали для данной координаты
,
по
-
дает команду для разворота детали на
360
(
на рис
. 1
см
.
стрелку разво
-
рота детали
4
)
и выдает ее на принтер
13
.
Изменение значений разности фаз сигналов с фазометров
9
при вра
-
щении детали
4
свидетельствует либо о дефектах юстировки схемы
контроля
,
либо о наличии локальных погрешностей формы контроли
-
руемой поверхности
.
ЭВМ
12
управляет процессом измерений
,
подавая сигнал на ша
-
говый двигатель
2
о наклоне зеркала
1
и об изменении координаты
y
.
Весь процесс повторяется
.
После завершения цикла измерений радиального сечения поверх
-
ности детали
4
информация обрабатывается ЭВМ
12
и выдается в ви
-
де
,
например
,
топограммы поверхности на принтер
13
либо в виде по
-
правок к программе обработки на программно
-
командные блоки стан
-
ка
14
[4].
Размер контролируемой зоны определяется размером пучка лазера
с учетом расходимости
.
Величина шага дискретного наклона зеркала
1
выбирается с учетом ожидаемых погрешностей формы
,
как правило
,
пропорциональных размерам используемого при обработке поверхно
-
сти инструмента
.
Чувствительность контроля
,
в основном
,
определяет
-
ся возможностями координатора
.
Реализована конструктивная схема координатора с одновременны
-
ми измерением разности фаз
(
фазометр Ф
2–16)
и визуальной оценкой
величины угла поворота вспомогательного плоского зеркала с помо
-
щью автоколлиматора на базе гелий
-
неонового лазера ЛГ
36.
Коорди
-
натор фиксировал смещение пучков
,
составляющее приблизительно
5
мкм
,
с расстояния около
1
м
,
что соответствует возможностям оценки
угла отклонения нормали в
1
угловую секунду
.
Достоинствами метода лазерного зондирования контролируемых
поверхностей являются
:
минимум оптических элементов в схеме контроля
;
простота юстировки схемы контроля
;
возможность конструктивного исполнения узла поворотного зер
-
кала и анализирующего устройства
,
предназначенного для контроля
большого числа однотипных деталей
;
использование бесконтактного метода измерений
,
позволяющего
с высокой точностью
(
до единиц угловых секунд и до единиц микро
-
метров
)
определять искомые угловые и линейные значения
;
использование отраженных пучков лучей
(
это позволяет контро
-
лировать детали как из прозрачных
,
так и из непрозрачных для види
-
мого диапазона длин волн материалов
);
ISSN 0236-3933.
Вестник МГТУ им
.
Н
.
Э
.
Баумана
.
Сер
. "
Приборостроение
". 2004.
2 39
1,2,3 5,6,7,8,9,10,11,12,13,...14
Powered by FlippingBook