U
ПИ
(
t
)=
S
max
S
отн
(
λ
)
c
Z
−
c
Z µ
a
4
A
2
0
P
2
зр
µ
−
λf
0
T
x
,
0
¶µ
4+sinc
2
µ
2
πa
1
T
x
,
0
¶¶
+
+ 4
a
4
A
2
0
sinc
µ
2
πa
1
T
x
,
0
¶
P
2
зр
µ
−
λf
0
T
x
,
0
¶
×
×
cos
µ
2
π
µ
u
x
t
T
x
−
aK
T
x
+
x
F
T
x
+
2∆
x
i,k
F
T
x
¶¶¶
dx
F
dy
F
.
Окончательно получим
[7]
U
ПИ
(
t
) =
K
1
Ã
K
2
+
K
3
cos
µµ
2
π
µ
u
x
t
T
x
−
aK
T
x
+ 2
∆
x
i,k
F
T
x
¶¶ !
,
(15)
где
К
1
=
S
max
S
отн
(
λ
)
,
К
2
=
а
4
А
2
0
Р
2
зр
µ
−
λf
0
T
x
,
0
¶µ
4 + sinc
2
µ
2
π
а
Т
х
,
0
¶¶
,
К
3
= 4
а
4
А
2
0
Р
2
зр
µ
−
λf
0
T
x
,
0
¶
sinc
2
µ
2
π
а
Т
х
,
0
¶
.
Таким образом
,
определен сигнал
,
который поступает на фазометр
.
Как видно из формулы
(15),
информация о наличии дефекта контро
-
лируемой поверхности содержится в фазе первой гармоники сигнала
,
поступающего от приемника излучения
.
Дальнейшая обработка сигна
-
ла происходит в электронном тракте
.
На рис
. 4
изображен стенд для проведения операций технологиче
-
ского контроля лазерным зондированием непосредственно на станке
ШП
-350
при изготовлении асферических поверхностей доводкой по
-
сле смещения поводка верхнего звена и промывки поверхности от по
-
лирующего материала
.
Излучение лазера
1
,
отражаясь от зеркала
2
и левого зеркала в
системе зеркал
3
,
попадает на контролируемую асферическую поверх
-
ность
4
,
установленную на шпинделе станка
6
.
Система зеркал
3
пред
-
ставляет собой два поворотных зеркала
,
поворачивающихся синхрон
-
но
.
Первое зеркало поворачивается с заданным шагом таким образом
,
чтобы контролировать весь диапазон
,
который определяется размером
лазерного зонда
.
Шаг второго зеркала определяется геометрией по
-
верхности
.
Попав на определенную зону контролируемой поверхности
ISSN 0236-3933.
Вестник МГТУ им
.
Н
.
Э
.
Баумана
.
Сер
. "
Приборостроение
". 2004.
№
2 47
