Использование метода лазерного зондирования при технологическом контроле формы асферических поверхностей оптических деталей - page 10

В устройствах контроля приемники излучения имеют малую посто
-
янную времени
τ
= 10
6
. . .
10
7
с
,
поэтому скорость
u
x
=
ωR
,
где
ω
угловая скорость вращающегося растра
,
R
радиус растра
,
выбирает
-
ся такой
,
чтобы можно было пренебречь инерционностью приемника
излучения
,
т
.
е
.
его частотная характеристика
Н
τ
(
ν
t
)
,
характеризующая
инерционность
,
должна быть равна единице
.
Распределение амплитуды в плоскости приемника определяется как
обратное преобразование Фурье для формулы
(10):
A
МАИ
(
x
F
, y
F
, t
) = 2
a
2
A
0
P
зр
(0
,
0) +
a
2
A
0
sinc
µ
2
πa
1
T
x
,
0
P
зр
µ
λf
0
T
x
,
0
×
×
exp
µ
j
2
πaK
1
T
x
+
j
2
π
x
i,k
F
1
T
x
+
j
2
π
u
x
t
T
x
+
x
F
T
x
+
a
2
A
0
sinc
µ
2
πa
1
T
x
,
0
×
×
P
зр
µ
λf
0
T
x
,
0) exp
µ
j
2
πaK
1
T
x
+
j
2
π
x
i,k
F
1
T
x
j
2
π
u
x
t
T
x
x
F
T
x
=
= 2
a
2
A
0
P
зр
(0
,
0) +
a
2
A
0
sinc
µ
2
πa
1
T
x
,
0
P
зр
µ
λf
0
T
x
,
0
×
×
exp
µ
j
2
π
µ
u
x
t
T
x
+
x
F
T
x
aK
T
x
+
x
i,k
F
T
x
¶¶
+
+
a
2
A
0
sinc
µ
2
πa
1
T
x
,
0
P
зр
µ
λf
0
T
x
,
0
×
×
exp
µ
j
2
π
µ
u
x
t
T
x
+
x
F
T
x
aK
T
x
+
x
i,k
F
T
x
¶¶
.
(11)
С учетом принятых допущений величина сигнала
,
поступающего от
приемника излучения
,
при условии
Н
τ
(
ν
t
) = 1
определяется выраже
-
нием
U
ПИ
(
t
) =
S
max
S
отн
(
λ
)
+
Z
−∞
Z
I
F
(
x
F
, y
F
, t
)
H
ПИ
(
x
F
, y
F
)
dx
F
dy
F
,
(12)
где
H
ПИ
функция пропускания приемника излучения
;
S
отн
(
λ
)
спектральная характеристика приемника излучения
;
S
max
макси
-
мальное значение чувствительности приемника излучения
;
I
F
(
x
F
, y
F
, t
)
интенсивность волны в изображении диафрагмы в
плоскости приемника излучения
.
Для нахождения интенсивности воспользуемся формулой
(11)
и из
-
вестной зависимостью
I
F
=
AA
,
где
A
амплитуда
,
комплексно
-
ISSN 0236-3933.
Вестник МГТУ им
.
Н
.
Э
.
Баумана
.
Сер
. "
Приборостроение
". 2004.
2 45
1,2,3,4,5,6,7,8,9 11,12,13,14
Powered by FlippingBook