Использование метода лазерного зондирования при технологическом контроле формы асферических поверхностей оптических деталей - page 13

Рис. 4. Эскиз стенда устройства, осуществляющего контроль формы параболи-
ческих поверхностей по методу лазерного зондирования:
1 — лазер, 2 — поворотное зеркало, 3 — система поворотных зеркал, 4 — контроли-
руемая деталь, 5 — координатор , 6 — станок ШП -350, 7 — фазометр, 8 — дисплей,
9 — принтер, 10 — системный блок ЭВМ
и отразившись от нее, излучение попадает на правое зеркало системы
зеркал 3.
После этого излучение попадает на координатор 5, затем, разделя -
ясь с помощью системы светоделительных призм, проходит через растр
МАИ и попадает на приемники излучения. Четыре приемника обеспе -
чивают фазовые измерения по двум координатам, увеличивая точность
фазовых измерений.
Далее сигнал поступает в фазометр , где анализируется окончатель-
но. Информация, обработанная фазометром и электронно-преобразу-
ющим трактом, поступает в программный блок ЭВМ 10. Затем в виде
топограммы поверхности она выводится на дисплей 8 и принтер 9.
48 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н .Э. Баумана . Сер. "Приборостроение". 2004. № 2