Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии

9 / 10

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2016. № 3 11
[5] Tsepulin V.G., Perchik A.V., Tolstoguzov V.L., Karasik V.E. Thin film thickness
measurement error reduction by wavelength selection in spectrophotometry. Jour-
nal of Physics: Conference Series , 2015, vol. 584.
[6] Kim D. et al. Measurement of the thickness profile of a transparent thin film de-
posited upon a pattern structure with an acousto-optic tunable filter. Optics Let-
ters, 2002, vol. 27, no. 21, pp. 1893–1895.
[7] Gorodnichev V.A., Belov M.L., Belov A.M., Berezin S.V., Fedotov Yu.V. Laser
reflectometry method of measurement of thickness of gold nanofilms on quartz
substrate. Nauka i obrazovanie. MGTU im. N.E. Baumana [Science & Education
of the Bauman MSTU. Electronic Journal], 2012, no. 3. Available at:
[8] Born M., Wolf E. Principles of Optics. Oxford, London, Edinburgh, N.Y., Paris,
Frankfurt, Pergamon Press, 1968.
[9] Bates D.M., Watts D.G. Nonlinear Regression Analysis and its Applications.
John & Wiley Sons, Inc., 1988.
[10] Perchik A.V., Tolstoguzov V.L., Stasenko K.V., Tsepulin V.G. Spatial distribu-
tion of ITO-coating thickness measurement technique by AOTF spectrometer. Jel-
ektr. nauchno-tekh. izd. «Inzhenernyy zhurnal: nauka i innovacii» [El. Sci.-Tech.
Publ. "Eng. J.: Science and Innovation"], 2013, iss. 9.
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-9-915
Available at:
Статья поступила в редакцию 23.12.2015
Цепулин Владимир Германович — младший научный сотрудник НОЦ «Фо-
тоника и ИК-техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация,
105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5).
Tsepulin V.G. — Junior Research Scientist of Scientific Educational Center Pho-
tonics and IR-Technology, Bauman Moscow State Technical University (2-ya
Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005 Russian Federation).
Толстогузов Виктор Леонидович — младший научный сотрудник НОЦ «Фо-
тоника и ИК-техника» (Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бауман-
ская ул., д. 5).
Tolstoguzov V.L. — Junior Research Scientist of Scientific Educational Center
Photonics and IR-Technology, Bauman Moscow State Technical University (2-ya
Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005 Russian Federation).
Карасик Валерий Ефимович — д-р техн. наук, профессор кафедры «Лазерные
и оптико-электронные системы» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Феде-
рация, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5).
Karasik V.E. — Dr. Sci. (Eng.), Professor of Laser and Optoelectronic Systems
Department, Bauman Moscow State Technical University (2-ya Baumanskaya ul.
5, Moscow, 105005 Russian Federation).
Перчик Алексей Вячеславович — канд. техн. наук, младший научный со-
трудник НОЦ «Фотоника и ИК-техника» (Российская Федерация, 105005,
Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5).
Perchik A.V. — Cand. Sci. (Eng.), Junior Research Scientist of Scientific Educa-
tional Center Photonics and IR-Technology, Bauman Moscow State Technical
University (2-ya Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005 Russian Federation).