7 / 10
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2016. № 3
9
Рис. 5.
Распределение толщин пленочного покрытия
Различие измеренного и полученного теоретически значений ко-
эффициента отражения велико (см. рис. 4,
б
), поэтому эта точка не
отображается на рис. 5, так как значение невязки для нее выше вы-
бранного порогового значения. Отметим, что теоретическая зависи-
мость коэффициента отражения для точек на краю поля зрения отлича-
ется от экспериментальной зависимости преимущественно по ампли-
туде. По мнению авторов настоящей работы, такое отличие связано со
значительным отклонением угла падения излучения в этой области от
нормального, что необходимо учитывать в математической модели.
Однако эта гипотеза требует проведения более подробного исследова-
ния. Еще одной возможной причиной погрешностей может быть
наблюдаемое взаимное смещение изображения участка образца в раз-
личных спектральных диапазонах, которое возникает вследствие хро-
матических аберраций оптической системы.
Заключение.
Представлен метод измерения распределения толщин
многослойных пленочных микроструктур с использованием оптической
спектральной рефлектометрии, метод калибровки измерительной уста-
новки с помощью эталонного образца с известным коэффициентом от-
ражения и метод фильтрации погрешностей измерения. Предложенные
методы проверены экспериментально на специально созданной уста-
новке с применением микроскопа на основе перестраиваемого акусто-
оптического фильтра. В результате экспериментальных исследований
установлено следующее: СКО толщины для участка с однослойным по-
крытием из диоксида кремния SiO
2
и внешней поверхности двухслойно-
го покрытия составляет 0,7…1,0 нм, а СКО толщины на границе раздела
диоксида кремния SiO
2
и ПММА — 7…10 нм. Это объясняется близки-