5 / 10
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2016. № 3
7
Рис. 1.
Схема экспериментальной
установки:
1
— широкополосный источник из-
лучения;
2
— коллимирующая лин-
за;
3
— исследуемая пленочная
структура;
4
— объектив;
5
— све-
тоделительный кубик;
6 —
акусто-
оптический фильтр;
7
— фокусиру-
ющий объектив;
8
— матричный
приемник излучения
Рис. 2.
Структура измеряемого
образца:
1
— ПММА;
2
— диоксид кремния;
3
— кремний
Спектральные изображения пленочной структуры и эталонного
образца, полученные на экспериментальной установке, приведены на
рис. 3. Спектральные зависимости интенсивности излучения, реги-
стрируемого соответствующим пикселем матричного приемника (кри-
вая
1
), которые построены для точек, отмеченных на рис. 3, показаны
Рис. 3.
Спектральные изображения исследуемой пленочной структуры (
а
)
и подложки (
б
) для различных значений длины волны