Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2016. № 3

Aрефьев Алексей Павлович — студент кафедры «Лазерные и оптико-

электронные системы» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация,

105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5).

Arefev A.P. — student of Laser and Optoelectronic Systems Department, Bauman

Moscow State Technical University (2-ya Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005

Russian Federation).

Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:

Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Карасик В.Е., Перчик А.В., Арефьев А.П.

Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур мето-

дами спектральной рефлектометрии // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.

Приборостроение. 2016. № 3. C. 3–12. DOI: 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12

Please cite this article in English as:

Tsepulin V.G., Tolstoguzov V.L., Karasik V.E., Perchik A.V., Arefev A.P. Thick-

ness Distribution Measurement of Multilayer Film Structures by Spectral Reflec-

tometry Methods.

Vestn. Mosk. Gos. Tekh. Univ. im. N.E. Baumana, Priborostr.

[Herald of the Bauman Moscow State Tech. Univ., Instrum. Eng.], 2016,

no. 3,

pp. 3–12. DOI: 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12