Газовое демпфирование в микромеханических приборах - page 9

Рис. 5. Зона захвата прибора с плоским газовым демпфером при гармонической
вибрации
При последовательном уменьшении вибрационного воздействия
эти колебания сохраняются вплоть до уровня вибрации, соответству-
ющего отпусканию (см. рис. 6).
Поэтому в приборах с плоским газовым демпфером желательно
комбинировать электрическое и механическое демпфирование.
В работе [6] показано, что при правильном выборе параметров кор-
ректирующей цепи и наличии механического демпфирования, можно
полностью устранить возникновение режимов захвата в контуре аксе-
лерометра.
При проектировании приборов с плоским газовым демпфером рас-
считывают величину электрического и воздушного демпфирования в
зазоре приборов.
Если расчет механического демпфирования вести без учета сжи-
маемости газа, но с учетом известных формул для модели вязкого
несжимаемого газа, то при расчетной оценке динамики акселерометра
Рис. 6. Областьзахвата
можно установить отсутствие
явления захвата. Однако из–
за уменьшения демпфирования
вследствие сжимаемости газа
такая оценка может оказаться
неверной.
Этот факт был эксперимен-
тально обнаружен при вибра-
ционных испытаниях акселеро-
метров КИ67-3, КА-400N [6],
проведенных на вибростендах.
108 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2006. № 2
1,2,3,4,5,6,7,8 10,11,12
Powered by FlippingBook