Газовое демпфирование в микромеханических приборах - page 10

Рис. 7. Конструкция маятникового
компенсационного акселерометра
В ходе эксперимента акселеро-
метр КИ67-3 устанавливали таким
образом, чтобы его ось совпадала
с осью вибрационных возмущений,
и плавно изменяли вибрационное
воздействие по частоте. В области
частот 1500. . . 1800 Гц уровень ви-
брационных погрешностей, реги-
стрируемых при испытаниях, со-
ставлял 0,6 g при давлении в при-
боре, равном 60795 Па (0,6 атм.)
При увеличении давления га-
за до 1 атм. эффект захвата пропа-
дал, что хорошо объясняется по-
лученными в работе соотношени-
ями (20), а именно: при увеличе-
нии давления газа в приборе влия-
ние сжимаемости среды уменьшается.
При испытаниях акселерометра, конструкция которого показана
на рис. 7, разработанного на кафедре ИУ-2 [7], на вибростенде фирмы
Link при различной ориентации измерительной оси прибора отно-
сительно оси вибрации наибольшие погрешности имели место при
вибрации, ориентированной по измерительной оси прибора (рис. 8).
Следует отметить, что прибор имеет три механических резонан-
са на частотах 420, 670 и 1529 Гц. При вибрационных воздействиях
по измерительной оси акселерометра эти резонансы вводят контур
акселерометра в режим захвата, сопровождающегося вибрационными
погрешностями порядка
10
2
g
, и сохраняются до частот 2000 Гц (см.
рис. 8,
в
).
Уменьшение уровня вибрационных воздействий приводит к резко-
му уменьшению погрешностей, как и следует из теории.
Изменение параметра компенсационного контура с учетом сжима-
емости газа позволяет устранить явление захвата в указанной области
частот.
Заключение.
Проанализирована структура течения газа и пред-
ложена математическая модель течения вязкого сжимаемого газа в
рабочем зазоре плоского газового демпфера. Получено аналитическое
решение системы уравнений, описывающих течение газа в рабочем за-
зоре плоского газового демпфера, учитывающее сжимаемость и темпе-
ратурные процессы в газе. Получены формулы для инженерных расче-
тов аэродинамических сил в рабочем зазоре плоского газового демпфе-
ра, уточняющие существующие зависимости. Экспериментально под-
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2006. № 2 109
1,2,3,4,5,6,7,8,9 11,12
Powered by FlippingBook