Газовое демпфирование в микромеханических приборах - page 11

Рис. 8. Вибрационные погрешности акселерометра
110 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2006. № 2
1...,2,3,4,5,6,7,8,9,10 12
Powered by FlippingBook