Газовое демпфирование в микромеханических приборах - page 2

Рис. 2. Модельтечения газа в рабочем зазоре плоского газового демпфера
зазора между пластинами, газ вязкий и сжимаемый, числа Рейнольдса
велики, то движение газа в приборе можно рассматривать как набе-
гание его на неподвижную пластину со скоростью, равной скорости
подвижной пластины. Модель течения газа для этого случая показана
на рис. 2.
В литературе [1, 2] такое течение газа называется течением в
окрестности критической точки. Математической моделью рассматри-
ваемого течения являются:
система уравнений Навье–Стокса для вязкого сжимаемого тепло-
проводного газа
⎧⎪⎪⎨
⎪⎪⎩
ρ u
∂u
∂x
+
v
∂u
∂y
=
∂p
∂x
+
μ
2
u
∂x
2
+
2
u
∂y
2
+
1
3
∂x
∂u
∂x
+
∂v
∂y
;
ρ u
∂v
∂x
+
v
∂v
∂y
=
∂p
∂y
+
μ
2
v
∂x
2
+
2
v
∂y
2
+
1
3
∂y
∂u
∂x
+
∂v
∂y
;
(1)
уравнение неразрывности
(
ρu
)
∂x
+
(
ρv
)
∂y
= 0;
(2)
уравнение баланса энергии
ρc
p
u
∂T
∂x
+
v
∂T
∂y
=
u
∂p
∂x
+
v
∂p
∂y
+
λ
2
T
∂x
2
+
2
T
∂y
2
+
μ
Φ;
Φ = 2
∂u
∂x
2
+
∂v
∂y
2
+
∂v
∂x
+
∂u
∂y
2
2
3
∂u
∂x
+
∂v
∂y
2
;
уравнение состояния
p
=
ρRT
;
здесь
u
— составляющая скорости течения газа вдоль оси
OX
;
v
составляющая скорости течения газа вдоль оси
OY
;
x
,
y
— координаты;
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2006. № 2 101
1 3,4,5,6,7,8,9,10,11,...12
Powered by FlippingBook