Газовое демпфирование в микромеханических приборах - page 8

Демпфирующая сила и коэффициент демпфирования определяют-
ся следующими соотношениями:
F
Д
=
S
P dS
;
K
Д
=
F
Д
V
.
Для случая одномерной полосы и круга выражения для коэффици-
ента демпфирования имеет вид:
для одномерной полосы —
K
d
=
16
μ
δ
3
cl
3
1 +
2
3
Re
(
ρ
ρ
эф
)
ρ
+
P
4
cl
V
;
для круга —
K
d
=
3
π
2
μr
4
δ
3
1 +
2
3
Re
(
ρ
ρ
эф
)
ρ
+
2
πP
V
,
где
ρ
эф
— плотность газа в некоторой характерной точке, определяемая
соотношением
ρ
эф
=
p
RT
δ
y
χ
;
l
,
c
— длина и ширина полосы;
r
— радиус круга.
Влияние сжимаемости газа на динамические характеристики
приборов с плоским газовым демпфером.
При работе акселероме-
тров с плоским газовым демпфером в условиях больших вибраци-
онных возмущений в контуре электрической пружины могут возни-
кать явления захвата, заключающиеся в возникновении колебаний,
амплитуды которых значительно превышают зону линейности при-
бора [6]. Большие амплитуды колебаний подвижного узла акселероме-
тра приводят к возникновению значительных вибрационных погреш-
ностей [6], поэтому работа контура акселерометра в режиме захвата
должна быть исключена. Главной причиной возникновения явления
захвата в контуре электрической пружины является пропадание элек-
трического демпфирования при насыщении контура прибора, в резуль-
тате чего жесткость электрической пружины становится равной нулю.
При этом амплитуда колебаний подвижного узла прибора резко воз-
растает, и возрастает кинетическая энергия, запасаемая подвижным
узлом к моменту его возвращения в зону линейности.
Если уровень вибрационного воздействия соответствует частоте и
амплитуде точки
B
(рис. 5), то прибор работает в линейной зоне, и
амплитуда колебаний возрастает линейно (рис. 6).
При увеличении вибрационного возмущения, при переходе гра-
ницы области захвата, амплитуда колебаний возрастает скачком (см.
рис. 6). Большие амплитуды колебаний сопровождаются значительны-
ми вибрационными погрешностями.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2006. № 2 107
1,2,3,4,5,6,7 9,10,11,12
Powered by FlippingBook