Минимизация потенциала ротора в цилиндрическом электростатическом подвесе - page 5

частично приведены в работе [2], остальные получим с помощью пре-
образований координат и запишем их в следующем виде:
C
10
=
C
(0)
10
+
C
¯
y
10
·
¯
y
+
C
¯
y
2
10
·
¯
y
2
+
C
¯
x
2
10
·
¯
x
2
+
C
¯
α
10
·
¯
α
+
+
C
¯
α
2
10
·
¯
α
2
+
C
¯
β
2
10
·
¯
β
2
+
C
¯
α
¯
y
10
·
¯
α
·
¯
y
+
C
¯
β
¯
x
10
·
¯
β
·
¯
x
;
C
20
=
C
(0)
10
C
¯
y
10
·
¯
y
+
C
¯
y
2
10
·
¯
y
2
+
C
¯
x
2
10
·
¯
x
2
C
¯
α
10
·
¯
α
+
+
C
¯
α
2
10
·
¯
α
2
+
C
¯
β
2
10
·
¯
β
2
+
C
¯
α
¯
y
10
·
¯
α
·
¯
y
+
C
¯
β
¯
x
10
·
¯
β
·
¯
x
;
C
30
=
C
(0)
10
+
C
¯
y
10
·
¯
x
+
C
¯
y
2
10
·
¯
x
2
+
C
¯
x
2
10
·
¯
y
2
C
¯
α
10
·
¯
β
+
+
C
¯
α
2
10
·
¯
β
2
+
C
¯
β
2
10
·
¯
α
2
C
¯
α
¯
y
10
·
¯
β
·
¯
x
C
¯
β
¯
x
10
¯
α
·
¯
y
;
C
40
=
C
(0)
10
C
¯
y
10
·
¯
x
+
C
¯
y
2
10
·
¯
x
2
+
C
¯
x
2
10
·
¯
y
2
+
C
¯
α
10
·
¯
β
+
+
C
¯
α
2
10
·
¯
β
2
+
C
¯
β
2
10
·
¯
α
2
C
¯
α
¯
y
10
·
¯
β
·
¯
x
C
¯
β
¯
x
10
¯
α
·
¯
y
;
C
50
=
C
(0)
10
+
C
¯
y
10
·
¯
y
+
C
¯
y
2
10
·
¯
y
2
+
C
¯
x
2
10
·
¯
x
2
C
¯
α
10
·
¯
α
+
+
C
¯
α
2
10
·
¯
α
2
+
C
¯
β
2
10
·
¯
β
2
C
¯
α
¯
y
10
·
¯
α
·
¯
y
C
¯
β
¯
x
10
·
¯
β
·
¯
x
;
C
60
=
C
(0)
10
C
¯
y
10
·
¯
y
+
C
¯
y
2
10
·
¯
y
2
+
C
¯
x
2
10
·
¯
x
2
+
C
¯
α
10
·
¯
α
+
+
C
¯
α
2
10
·
¯
α
2
+
C
¯
β
2
10
·
¯
β
2
C
¯
α
¯
y
10
·
¯
α
·
¯
y
C
¯
β
¯
x
10
·
¯
β
·
¯
x
;
C
70
=
C
(0)
10
+
C
¯
y
10
·
¯
x
+
C
¯
y
2
10
·
¯
x
2
+
C
¯
x
2
10
·
¯
y
2
+
C
¯
α
10
·
¯
β
+
+
C
¯
α
2
10
·
¯
β
2
+
C
¯
β
2
10
·
¯
α
2
+
C
¯
α
¯
y
10
·
¯
β
·
¯
x
+
C
¯
β
¯
x
10
¯
α
·
¯
y
;
C
80
=
C
(0)
10
C
¯
y
10
·
¯
x
+
C
¯
y
2
10
·
¯
x
2
+
C
¯
x
2
10
·
¯
y
2
C
¯
α
10
·
¯
β
+
+
C
¯
α
2
10
·
¯
β
2
+
C
¯
β
2
10
·
¯
α
2
+
C
¯
α
¯
y
10
·
¯
β
·
¯
x
+
C
¯
β
¯
x
10
¯
α
·
¯
y
;
C
90
=
C
(0)
90
+
C
¯
z
90
·
¯
z
+
C
¯
z
2
90
·
¯
z
2
;
C
100
=
C
(0)
90
C
¯
z
90
·
¯
z
+
C
¯
z
2
90
·
¯
z
2
;
C
00
=
C
(0)
00
+
C
¯
x
2
y
2
00
x
2
+ ¯
y
2
) +
C
¯
α
2
+ ¯
β
2
00
¯
α
2
+ ¯
β
2
.
(8)
Зависимости, характеризующие работу датчиков перемещений, по-
лучены в работе [3] имогут быть представлены в виде
u
д1
=
k
д1
¯
y
k
д2
¯
α
;
u
д3
=
k
д1
¯
x
+
k
д2
¯
β
;
u
д5
=
k
д1
¯
y
+
k
д2
¯
α
;
u
д7
=
k
д1
¯
x
k
д2
¯
β
;
u
д9
=
k
д3
¯
z.
(9)
Подставляя в уравнение (1) выражения (4), (5), (8) и (9), получаем
следующее соотношение потенциала ротора для варианта 1:
26 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2007. № 3
1,2,3,4 6,7,8,9,10,11,12,13,14,15,...16
Powered by FlippingBook