раздела сред
α
и
β
;
ϕ
1
z
(
ξ,η
)
e
— набег фазы для парциальной волны све-
та рассеяния с линейной (
ξ
,
η
)
-поляризацией на выходе из слоя за счет
распространения в среде 1 слоя от глубины
z
к поверхности вдоль
нормали к ней:
ϕ
1
z
(
ξ,η
)
e
= (2
πν n
(
ξ,η
)
z/c
);
(8)
ϕ
1
d
(
ξ,η
)
es
— набег фазы для такой волны в слое толщиной
d
.
Итак, в силу действия слоя образца
S
как резонатора Фабри-Перо
на инициирующую рассеяние световую волну и на саму рассеянную
парциальную волну света с линейными (
ξ, η
)
-поляризациями электри-
ческие векторы
E
∗
(
z
)
(
ξ,η
)
е
поля рассеянного света непосредственно на
выходе из слоя вдоль нормали к его поверхности можно связать с соот-
ветственными электрическими векторами
E
∗
0(
ξ,η
)
падающей световой
волны, инициирующей рассеяние света, эффективными элементами
S
∗
eff
(
z
j
)
(
ξ,η
)
эффективной матрицы
ˆS
∗
eff
Джонса нормального расcеяния
света в виде
ˆS
∗
eff
(
z
j
)
(
ξ,η
)
= S
∗
(
z
j
)
(
ξ,η
)
t
∗
eff
(
z
j
)
(
ξ,η
)
,
(9)
где
t
∗
eff
(
z
j
)
(
ξ,η
)
=
=
τ
∗
01
τ
∗
10
[1 +
ρ
∗
12
exp(2
iϕ
1(
d
−
z
)
j
)]
2
[1 +
ρ
∗
01
ρ
∗
12
exp(2
iϕ
1
dj
)]
2
(
ξ,η
)
(10)
— так называемый эффективный комплексный амплитудный коэффи-
циентвыхода потока рассеянного света с линейной (
ξ, η
)
-поляризацией
непосредственно из слоя оптически анизотропной среды.
Модули параметров нормального отражения света ДК.
Главны-
ми параметрами измерений при нормальном отражении света служат
модули
R
(
ξ,η
)
и разность
Δ
фаз
δ
(
ξ,η
)
комплексных амплитудных ко-
эффициентов нормального отражения
R
∗
(
ξ,η
)
компонентпотока света с
линейными
ξ
- и
η
-поляризациями, отнесенными к необыкновенной и
обыкновенной волнам света в оптически анизотропной среде ДК [6],
а при нормальном рассеянии света диагональные эффективные ком-
плексные элементы
S
∗
eff
(
ξξ,ηη
)
es
эффективной матрицы
ˆS
∗
eff
es
Джонса
расcеяния света (9) [7].
Рассмотрим сначала случай, когда ориентированная некоторым
образом оптическая ось
ξ
образца
S
оптически одноосного ДК лежит
в его плоскости. Пусть оптическая ось
ξ
образца
S
образуетугол
α
с
линейной
р
-поляризацией потока света на образце
S
и светоделителе
СД
е
r
на выходе
r
-канала холоэллипсометра (см. рисунок),
Е
i
(
ξ,η
)
—
проекции амплитуды вектора
E
i
световой волны вдоль ее линейных
ξ
- и
η
-поляризаций при входе в образец
S
. Линейно поляризован-
ная волна света при нормальном падении, войдя из вакуума в среду
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4 45
