Оптическая схема лазерного холоэллипсометра рассеяния и отражения света
оптически одноосным ДК в направлениях, близких к нормальному относитель-
но ДК
нормально к его поверхности и поступает (в виде конуса с углом рас-
твора
Δ
θ
≈
2
,
5
◦
) на вход коллиматора К, который формирует из конуса
рассеянного света плоский поток, направляя его через компенсатор С
s
на светоделитель СД
es
на входе холоэллипсометра рассеяния, обеспе-
чивающего анализ поляризации потока света, рассеянного образцом
S
на коллиматор К. Светоделитель СД
es
делитэтотпоток света на плос-
кие пучки, падающие на поляризационные светоделители ПСД
s
(1
,
2)
.
Формируемые ими потоки света с линейными поляризациями реги-
стрируют фотоприемники ФП
s
(11
,
12)
и ФП
s
(21
,
22)
в каналах с поляриза-
ционными светоделителями ПСД
s
1
и ПСД
s
2
. Электросигналы от фо-
топриемников поступают в блок обработки данных БОД
s
в
s
-канале
прибора и отнего в цифровом виде — на общий компьютер АК, прово-
дящий математическую обработку всего получаемого массива данных
и управляющий всеми операциями. Линейные поляризации форми-
руемых поляризационными светоделителями ПСД
s
(1
,
2)
потоков света
направлены так, что на выходе светоделителя ПСД
s
1
взаимно попереч-
ные направления колебаний векторов электрических волн совпадают с
направлениями таких колебаний для необыкновенной и обыкновенной
волн света в среде оптически одноосного кристалла, а на выходе све-
тоделителя ПСД
s
2
линейные поляризации потоков света повернуты по
40 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4
