Интерференция задана разностью
Δ
I
инт
(
е
s
)
сигналов
I
+
е
s
и
I
−
е
s
:
Δ
I
инт
(
е
s
)
=
|
I
+
е
s
−
I
−
е
s
|
=
j
(
E
ξj
Е
∗
ηj
+
Е
∗
ξj
E
ηj
)
es
;
Δ
I
инт
(
е
s
)
= 2
j
(
E
ξj
Е
ηj
sinΔ
ϕ
ξηj
)
es
,
(2)
где
Δ
ϕ
ξηjes
— разность фаз для векторов
E
ξjes
и
E
ηjes
рассеянной вол-
ны на выходе ее из объема образца
S
;
sinΔ
ϕ
ξηjes
— вклад рассеянной
волны в интерференцию (2) в результате действия компенсатора С
s
на
входе
s
-канала холоэллипсометра.
Такой же результатполучаюти для измерений на эталоне
S
э
в виде
идеально отражающего зеркала:
Δ
I
инт
е
(
s,r
)
э
= 2
j
(
E
ξj
Е
ηj
sinΔ
ϕ
ξηj
)
e
(
s,r
)
э
.
(3)
Инициирующая рассеяние света падающая на образец
S
световая
волна на глубине
z
отповерхности слоя размещения
j
-й точки рассея-
ния света в объеме образца описывается комплексными амплитудами
электрических векторов
E
∗
1(
ξ,η
)
(
z
j
)
:
E
∗
1(
ξ,η
)
(
z
j
) =
E
∗
0(
ξ,η
)
τ
∗
01
exp(
iϕ
1
zj
)
×
×
[1 +
ρ
∗
12
exp(2
iϕ
1(
d
−
z
)
j
)]
/
[1 +
ρ
∗
01
ρ
∗
12
exp(2
iϕ
1
dj
)]
.
(4)
Парциальная волна
E
∗
1
i
(
ξ,η
)
(
z
j
)
света рассеяния в
j
-й точке его по-
явления имеетвид
E
∗
1
i
(
ξ,η
)
(
z
j
) =
E
∗
1(
ξ,η
)
(
z
j
)
S
∗
(
ξξ,ηη
)
(
z
j
)
.
(5)
Парциальная волна
E
∗
(
z
)
(
ξ,η
)
е
света рассеяния от
j
-й точки образ-
ца
S
на глубине
z
от поверхности на выходе из тонкого, практически
прозрачного слоя представляется соотношением вида
E
∗
(
z
)
(
ξ,η
)
е
=
E
∗
1
i
(
ξ,η
)
(
z
j
)
τ
∗
10
exp(
−
iϕ
1
zj
)
×
×
[1 +
ρ
∗
12
exp(2
iϕ
1(
d
−
z
)
j
)]
/
[1 +
ρ
∗
01
ρ
∗
12
exp(2
iϕ
1
dj
)]
(
ξ,η
)
(6)
или более развернуто (с учетом соотношений (4)–(6)) как
E
∗
(
z
)
(
ξ,η
)
е
=
E
∗
0(
ξ,η
)
τ
∗
01
τ
∗
10
S
∗
(
z
j
)
×
×
[1 +
ρ
∗
12
exp(2
iϕ
1(
d
−
z
)
j
)]
2
/
[1 +
ρ
∗
01
ρ
∗
12
exp(2
iϕ
1
dj
)]
2
(
ξ,η
)
.
(7)
Здесь
τ
αβ
(
ξ,η
)
и
ρ
αβ
(
ξ,η
)
— амплитудные коэффициенты Френеля пропус-
кания и отражения света с линейной (
ξ, η
)
-поляризацией на границе
44 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4
