Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния и отражения света одноосным двумерным кристаллом - page 6

света в точке наблюдения, отвечающая частице в
j
-й точке объема
среды, есть сумма перпендикулярных друг другу (и направлению вол-
нового вектора
k
рассеянного света) векторов
E
и
E
, для которых
разность
Δ
ϕ
0
jξη
начальных фаз
ϕ
0
и
ϕ
0
сохраняется после отры-
ва парциальной волны рассеянного света от места появления. Эф-
фективное ненулевое усреднение по движению частиц тела в среде
получают, когда реализуется интерференция проекций силовых векто-
ров рассеянной волны
E
ξ
и
E
η
(
E
ξ
E
η
)
на направления, отвечающие
линейным поляризациям потока света на выходе линейного поляри-
зационного светоделителя, которые составляют угол по азимуту 45
с
поляризацией е
ξ
↑↑
E
ξ
, нормальной плоскости рассеяния. Любая дру-
гая,
k
-я составляющая потока рассеянного света в точке наблюдения,
порожденная частицей в
k
-й точке объема среды, дает сходную кар-
тину интерференции. Картины эти из-за временн ´oй некогерентности
парциальных
j
-й и
k
-й составляющих потока рассеянного света на-
кладываются друг на друга, а их интенсивности просто суммируются.
Это идентично интерференции от некогерентных источников света,
изученной еще Френелем [10].
Рассмотрим интерференцию в поле рассеянных поляризованных
волн при рассеянии света в направлении, близком к нормальному, в
малый телесный угол
Δ
θ
относительно оптической оси коллиматора
К (см. рисунок), посылающего падающий на него (в форме конуса)
рассеянный светплоским потоком через компенсатор С
s
на светоде-
литель СД
s
, делящий падающий поток света на два пучка. Один пучок
отражается на линейный поляризационный светоделитель ПСД
s
1
, вы-
деляющий, как отмечено, пучки света с взаимно перпендикулярными
направлениями колебаний векторов электрических волн вдоль поляри-
заций необыкновенной (индекс “
ξ
”) и обыкновенной (индекс “
η
”) волн
света в среде оптически одноосного кристалла. Другой пучок пропус-
кается через линейный поляризационный светоделитель ПСД
s
2
, выде-
ляющий пучки света с линейными поляризациями, повернутыми на
45
относительно линейных (
р
ξ
и s
η
)
поляризаций потока волн
на светоделителе СД
s
. Усреднение [10] проводятсначала по движению
микрочастиц в молекулах рассеивателя. Это равноценно усреднению
во времени при регистрации сигнала. Другое усреднение проводят по
формуле
I
(
±
)
е
s
=
j
|
E
ξj
±
E
ηj
|
2
е
s
/
2
,
где
E
(
ξ,η
)
jes
— силовой электрический вектор рассеянной волны от
j
частицы среды при выходе из образца
S
, а (
ξ, η
)
-поляризация компо-
ненты рассеянной волны соотнесена с поляризацией
ξ
- или
η
-волн све-
та в оптически одноосном образце
S
, а множитель
(1
/
2) = cos
2
45
=
= sin
2
45
.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4 43
1,2,3,4,5 7,8,9,10,11,12,13,14,15
Powered by FlippingBook