Результаты измерений на эталоне
S
э
, для которого модули коэф-
фициентов отражения потока света
R
ξ
э
=
R
η
э
= 1
, представляются в
виде
I
per
э
=
|
ˆ
E
∗
p
|
2
er
э
=
I
pi
|
ˆ
A
∗
р
|
2
er
;
I
ser
э
=
|
ˆ
E
∗
s
|
2
er
э
=
I
si
|
ˆ
A
∗
s
|
2
er
.
Согласно (1) получаем нормированные сигналы для
r
-канала при-
бора отобразца
S
i
(
p,s
)
er
= [
I
(
p,s
)
er
/I
(
p,s
)
i
] = [
|
ˆ
A
∗
(
p,s
)
|
2
R
2
(
ξ,η
)
]
er
(14)
и от эталона
S
э
i
(
p,s
)
er
э
= [
I
(
p,s
)
er
э
/I
(
p,s
)
i
э
] =
|
ˆ
A
∗
(
p,s
)
|
2
er
,
(15)
а также от эталона
S
для
s
-канала
i
(
p,s
)
es
э
= [
I
(
p,s
)
es
э
/I
(
p,s
)
i
э
] =
|
ˆ
A
∗
(
p,s
)
|
2
es
.
На основе (14), (15) получим соотношение для приведенных сиг-
налов
i
пр
(
p,s
)
е
r
отобразца
S
для
r
-канала:
i
пр
(
p,s
)
е
r
= [
i
(
p,s
)
er
/i
(
p,s
)
er
э
] =
R
2
(
ξ,η
)
er
.
(16)
Соотношение (16) — основа расчета модулей
R
(
ξ,η
)
комплексных
амплитудных коэффициентов отражения
R
∗
(
ξ,η
)
компонентотражаемо-
го образцом
S
света с поляризациями, соотнесенными с необыкновен-
ной (
ξ
)
и обыкновенной (
η
)
волнами света в среде оптически одно-
осного кристалла.
Модули элементов матрицы Джонса рассеяния света.
Обра-
тимся к расчету модулей главных элементов матрицы
ˆS
∗
eff
es
Джонса в
ситуации
s
-канала холоэллипсометра (см. рисунок). В силу временн ´oй
некогерентности парциальных
j
-х составляющих потока рассеянного
света, поступающих от
j
-х точек на глубине
z
отповерхности вдоль
нормали к ней, интенсивности этих парциальных волн просто сум-
мируются. А суммирование
Σ
j
потока рассеянного света по набору
j
-х частиц в объеме среды рассеивателя
S
, актуальном для геометрии
нормального рассеяния света, заменяют интегрированием (
. . . dAz
)
по глубине
z
залегания рассеивающей свет
j
-й частицы в пределах
площади
А
облучаемой области образца
S
и используютполученные
ранее соотношения (14), (15) для нормированных сигналов
i
(
p,s
)
es
и
i
(
p,s
)
es
э
отобразца
S
и эталона
S
э
, заменяя в них величины, относящи-
еся к отражению света, на величины, относящиеся к его рассеянию:
i
(
p,s
)
es
= [
I
(
p,s
)
es
/I
(
p,s
)
i
] =
{|
ˆ
A
∗
(
p,s
)
|
2
[(
|
t
∗
eff
(
d
)
| · |
S
∗
|
)
2
]
(
ξ,η
)
}
es
N
;
(17)
i
(
p,s
)
es
э
= [
I
(
p,s
)
es
э
/I
(
p,s
)
i
э
] =
|
ˆ
A
∗
(
p,s
)
|
2
es
.
(18)
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4 47
