товых пучков с линейными
р
- и
s
-поляризациями;
А
(
p,s
)2(
s,r
)
— модули
упомянутых комплексных аппаратных функций
А
∗
(
р
,s
)2(
s,r
)
;
S
ξ
и
S
η
—
модули комплексных амплитудных элементов
S
∗
ξ
и
S
∗
η
матрицы
ˆS
∗
es
Джонса расcеяния света (индекс “
s
”);
R
ξ
и
R
η
— модули комплексных
амплитудных коэффициентов отражения
R
∗
ξ
и
R
∗
η
.
Соотношение
Δ
I
инт
е
(
s,r
)
э
(3) для эффекта интерференции от этало-
на
S
э
— идеально отражающего зеркала — в геометриях отражения для
s
- и
r
-каналов холоэллипсометра принимает вид
Δ
I
инт
е
(
s,r
)
э
= [
A
p
A
s
]
2(
s,r
)
I
i
sinΔ
A
2(
s,r
)
.
Для нормированных согласно уравнению (1) сигналов
Δ
i
инт
2
е
(
s,r
)
от
образца
S
в геометрии
s
- и
r
-каналов холоэллипсометра и
Δ
i
инт
2
a
(
s,r
)
э
отэталона
S
э
при использовании пропускания (индекс “2”) потока
света светоделителем СД
e
(
s,r
)
имеем
Δ
i
инт
2
е
s
=
{
N
и
[[
t
eff
ξd
t
eff
ηd
)](
A
p
A
s
)
2
S
ξ
S
η
][sin(Δ
S
effes
+ Δ
A
2
)]
}
es
;
(20)
Δ
i
инт
2
е
r
=
{
[(
A
p
A
s
)
2
R
ξ
R
η
][sin(Δ
Rer
+ Δ
A
2
)]
}
er
;
(21)
Δ
i
инт
2
a
е
(
s,r
)
э
= [(
A
p
A
s
)
2
]
(
s,r
)
sinΔ
A
2(
s,r
)
.
(22)
Индекс “2” здесь подчеркиваетту ситуацию, когда комплексные
аппаратные функции
A
∗
p
2(
s,r
)
и
A
∗
s
2(
s/r
)
обусловлены, в частности, и
пропусканием входных светоделителей СД
e
(
s,r
)
.
Синусные величины в соотношениях (20), (21) и (22), определя-
ющие фазовые параметры
Δ
S
eff
es
,
Δ
Rer
и
Δ
A
2(
s,r
)
, выделяются, если
исключить все амплитудные множители перед ними в формулах. Для
реализации подхода строят среднегеометрические величины
G
1
пр
(
ζη
)
и
r
и
G
1
пр
(
ζη
)
и
s
отприведенных нормированных сигналов (16) в
r
-канале
и (19) в
s
-канале прибора для компонентпотока света с линейными
ξ
-
и
η
-поляризациями в геометрии измерения пучков света с этими
ξ
- и
η
-поляризациями (эта геометрия измерений отмечена индексом “1”, а
объекты измерений индексами “и” и “э”):
G
1
пр
(
ξη
)
s
и
= [
i
пр
(
p
)
es
·
i
пр
(
s
)
es
]
1
/
2
и
=
N
[
t
∗
eff
ξ
(
d
)
t
∗
eff
η
(
d
)
S
ξ
S
η
]
s
и
;
(23)
G
1
пр
(
ξη
)
r
и
= [
i
(
p
)
er
·
i
(
s
)
er
]
1
/
2
и
= [
R
ξ
R
η
]
r
и
.
(24)
Cтроят и среднегеометрическое
G
2
b
(
ξη
)
э
(
s,r
)
для сигналов (18) от
компонент потока света на эталоне
S
э
в ситуации установки поляриза-
ционного светоделителя ПСД
(
s,r
)2
, когда регистрируются компоненты
потока света с линейными (
ξ
- и
η
)
-поляризациями:
G
2
b
(
ξη
)
э
(
s,r
)
= (
|
Δ
i
инт
2
b
(
ξ
)
э
(
s,r
)
| · |
Δ
i
инт
2
b
(
η
)
э
(
s,r
)
|
)
1
/
2
= [(
A
p
A
s
)
(2)
]
(
s,r
)
э
.
(25)
Используя соотношения (20)–(25), находят суммы фазовых параме-
тров (
Δ
S
eff
s
+Δ
A
2
s
)
, (
Δ
Rer
+Δ
A
2
r
)
по данным отобразца
S
и фазовые
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4 49
