Информацию о вкладе в массив данных отдругих оптических эле-
ментов передают комплексные поляризационные аппаратные функции
А
∗
р
,s
[4–6]:
A
∗
p,s
=
A
p,s
exp (
iδ
Ap,s
)
,
где
А
р
,s
и
δ
Ар
,s
— модуль и фаза комплексной функции
А
∗
р
,s
, при эт ом
линейные
р
- и
s
-поляризации аппаратной функции
А
∗
р
,s
коррелируют
с линейными
ξ
- и
η
-поляризациями необыкновенной и обыкновенной
волн света в анизотропной среде оптически одноосного ДК.
Согласно формализму
ˆS
-матриц Джонса [4], в функции
А
∗
р
,s
в ви-
де сомножителей входят амплитуды
Е
i
(
p,s
)
электрических векторов
компонентпотока света с линейными
р
- и
s
-поляризациями, дина-
мические чувствительности
D
(
s,r
)
jk
фотоприемников ФП
(
s,r
)
jk
и ком-
плексные амплитудные коэффициенты отражения/пропускания свето-
делителей СД
e
(
s,r
)
холоэллипсометров и других элементов. Такие со-
множители комплексных аппаратных поляризационных функций
А
∗
р
,s
устройства имеют свои скорости временных изменений в ходе из-
мерений соответственных характерных параметров, причем наиболее
подвижными оказываются амплитуды
Е
i
(
p,s
)
электрических векторов
поляризованных
р
- и
s
-компонентпотока света на входе холоэлли-
псометра. Комплексные же амплитудные коэффициенты отражения
и пропускания светоделителей СД
e
(
s,r
)
холоэллипсометра практиче-
ски постоянны. Влияние комплексных поляризационных аппаратных
функций
А
∗
р
,s
устройства на массив данных в холоэллипсометрии [5, 6]
можно исключить, проводя дополнительные независимые измерения,
размещая на пути потока волн к образцу
S
другой образец
S
э
(так
называемый эталон) — плоское идеально отражающее зеркало, для
которого модули коэффициентов отражения
R
ξ
=
R
η
= 1
и параметр
Δ =
π
. Обратим внимание, что дополнительные измерения в каналах с
поляризационными светоделителями ПСД
2(
s,r
)
e
выполняютидентично
на основном образце
S
и в канале со светоделителем ПСД
1(
s,r
)
e
.
Массив данных
i
(
s,r
)
jk
э
(
t
)
вносят в блок памяти компьютера АК,
чтобы в дальнейшем использовать при отработке массива измерений
i
(
s,r
)
jk
(
t
)
на основном образце
S
.
Особенности регистрации потока поляризованного рассеянно-
го света.
Существенным моментом в появлении рассеянного света при
облучении образца потоком света обычной интенсивности оказывают-
ся спонтанные переходы частиц с возбужденных уровней на нижеле-
жащие энергетические уровни [7–10]. Парциальная волна рассеянного
света от некоторой
j
-й частицы уходитотнее и далее, следуя законам
макроэлектродинамики Максвелла–Лорентца [10], распространяется в
слое ДК, как в оптическом низкодобротном резонаторе Фабри–Перо.
Любая такая парциальная волна как
j
-я составляющая рассеянного
42 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4
