азимуту на угол
Δ
θ
= 45
◦
по отношению к линейным поляризациям
потоков света на выходе светоделителя ПСД
s
1
.
Аналогично представляется и холоэллипсометр отражения, когда
индексы “
s
” соответствующих оптических элементов заменяются ин-
дексами “
r
”.
Контроль интенсивности
I
i
(
t
)
света лазера на входе в холоэлли-
псометр, выполняемый с помощью оптопары из светоделителя СД
i
и фотоприемника ФП
i
, позволяетнормировать сигналы
I
(
s,r
)
jk
(
t
)
от
остальных фотоприемников ФП
(
s,r
)
jk
. Нормировка — это деление
jk
-го
сигнала в наборе
I
(
s,r
)
jk
(
t
)
на сигналы
I
i
(
t
)
от потока света на входе.
При компьютерной обработке массива данных имеются и аналоговые
I
(
s,r
)
jk
(
t
)
, и нормированные
i
(
s,r
)
jk
(
t
)
сигналы:
i
(
s,r
)
jk
(
t
) = [
I
(
s,r
)
jk
(
t
)
/I
i
(
t
)]
.
(1)
Относительные величины из уравнения (1) способствуют устой-
чивости математических алгоритмов в ходе обработки всего массива
данных измерений.
Массив данных измерений несетинформацию как отобразца
S
,
так и от других оптических элементов прибора, с которыми взаимо-
действуют потоки света на своем пути от лазера Л до фотоприемни-
ков ФП
(
s,r
)
jk
. Информацию отобразца
S
для компонентпотока света
с линейными
ξ
- и
η
-поляризациями, соотнесенными с поляризация-
ми необыкновенной и обыкновенной волн света в среде оптически
одноосного кристалла, при отражении света несут комплексные ам-
плитудные коэффициенты отражения
R
∗
ξ,η
[4–6]:
R
∗
ξ,η
=
R
ξ,η
exp(
iδ
ξ,η
)
,
где
R
ξ,η
и
δ
ξ,η
— модули и фазы коэффициентов отражения
R
∗
ξ,η
[6]), а
при рассеянии света информацию несут элементы
S
∗
uves
матрицы
ˆS
es
Джонса расcеивания света [7, 8]:
S
∗
uves
=
S
uves
exp(
iϕ
suv
)
,
где
S
uves
и
ϕ
suv
— модуль и фаза элементы
S
∗
uves
матрицы
S
es
Джонса,
причем индексы “
uv
” коррелируютс индексами “
р
, s
” главных линей-
ных поляризаций потока света, например, на обычных светоделите-
лях или c индексами “
ξ, η
” линейных поляризаций необыкновенной
(индекс “
ξ
”) и обыкновенной (индекс “
η
”) волн света в анизотроп-
ной среде оптически одноосного кристалла, а индекс “
es
” маркирует
параметр на выходе (индекс “
е
”)
s
-канала устройства (или просто
s
-
холоэллипсометра). Отметим, что недиагональные элементы
S
∗
ξηes
и
S
∗
ηξes
матрицы
S
∗
es
Джонса расcеяния света пропорциональны
sin
ϕ
s
(
ϕ
s
— азимут плоскости рассеяния), так что при практически нормаль-
ном рассеянии света образцом
S
(когда
ϕ
s
= 0
) элементы
S
ξηes
и
S
ηξes
матрицы
S
∗
es
равны нулю [7].
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4 41
