Previous Page  8 / 10 Next Page
Information
Show Menu
Previous Page 8 / 10 Next Page
Page Background

7.

Исследование

физико-химических свойств поверхности политетрафторэтилена

методом ИК-спектроэллипсометрии / М.О. Макеев, Ю.А. Иванов, С.А. Мешков,

А.Б. Гильман, М.Ю. Яблоков // Нанотехника. 2011. № 3. C. 27–32.

8.

Исследование

металлоорганических гетероструктур методами широкопо-

лосной ИК эллипсометрии-спектроскопии / М.О. Макеев, Ю.А. Иванов,

Н.А. Ветрова, С.А. Козубняк // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.

Приборостроение. Спец. вып. “Наноинженерия”. 2010. С. 80–91. URL:

http://baumanpress.ru/vestnik/2/151.pdf

9.

Исследование

деградационных явлений в наноразмерных AlAs/GaAs гетеро-

структурах методом ИК-спектроэллипсометрии // Наноинженерия. 2011. № 10.

С. 44–48.

10.

Макеев М.О.

,

Иванов Ю.А.

,

Мешков С.А. Исследования

термической деградации

резонансно-туннельных диодов на базе AlAs/GaAs наногетероструктур // Нано-

и микросистемная техника. 2014. № 12. С. 23–29.

11.

Исследования

деградации резонансно-туннельных диодов на базе AlAs/GaAs

наногетероструктур / М.О. Макеев, Ю.А. Иванов, С.А. Мешков, Ю.Н. Литвак,

Н.А. Ветрова // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. № 6 (18). URL:

http://engjournal.ru/catalog/nano/hidden/811.html

12.

IR-VASE

User’s Manual / J.A. Woollam Co., Inc., 2006.

13.

Handbook

of ellipsometry / Ed. by H.G. Tompkins, E.A. Irene. William Andrew

Publishing, Springer, 2005. 870 p.

14.

Wooten F.

Optical Properties of Solids. N.Y.: Academic Press, 1972.

15.

Palik E.D.

Handbook of optical constants of solids. Vol. 1. N.Y.: Academic Press,

1985. 785 р.

16.

Weber M.J.

Handbook of Optical Materials. CRC Press, 2002. 536 p.

17.

SEMI MF1618-1110

— Practice for Determination of Uniformity of Thin Films on

Silicon Wafers, 2004.

18.

Родионов И.А.

Разработка литографических процессов изготовления СБИС

с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения.

Дисс. . . . канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010.

REFERENCES

[1] Moreau Wayne M. Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials.

Springer; Softcover reprint of the original 1st ed., 1988.

[2] Hilfiker J., Bungay C., Synowicki R., Tiwald T., Herzinger C., Johs B., Pribil G.,

Woollam J.A. Progress in Spectroscopic Ellipsometry: Applications from Vacuum

Ultraviolet to Infrared.

J. Vac. Sci. Technol. A.

, 2003, vol. 21, iss. 4, pp. 1103–1108.

[3] Hilfiker J., Singh N., Tiwald T., Convey D., Smith S.M., Baker J.H., Tompkins H.G.

Survey of Methods to Characterize Thin Absorbing Films with Spectroscopic

Ellipsometry.

Thin Solid Films

, 2008, no. 516, pp. 7979–7989.

[4] Tompkins H.G., Tiwald T., Bungay C., Hooper A.E. Use of Molecular Vibrations

to Analyze Very Thin Films with Infrared Ellipsometry.

J. Phys. Chem. B.

, 2004,

vol. 108, iss. 12, pp. 3777–3780.

[5] Makeev M.O., Zhukova E.A. Study of diamond-like coatings by IR-

spectral ellipsometry and Raman spectroscopy.

Nauka i obrazovanie

.

MGTU

im. N.E. Baumana

[Science & Education of the Bauman MSTU. Electronic Journal],

2013, no. 7, pp. 229–240. Available at:

http://technomag.edu.ru/doc/597996.html

[6] Makeev M.O., Ivanov Yu.A., Meshkov S.A., Gil’man A.B., Yablokov

M.Yu

.

Application of IR ellipsometry to determination of the film thickness of a

polytetrafluoroethylene sample modified in direct-current discharge.

High Energy

Chemistry

, 2011, vol. 45, no. 6, pp. 536–538.

132 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6