6 / 10
Рис. 5. Оптические константы
n
и
k
резиста Ultra-i 123-0.35:
1
— показатель преломления (
n
);
2
— показатель поглощения (
k
)
тров на основе модели. Варьируемым параметром в эллипсометри-
ческой модели была толщина слоя резиста. Исходя из этого, были
определены толщины слоев Ultra-i 123-0.35 в измеренных областях
(таблица).
Толщины слоев резиста
Скорость вра-
щения центри-
фуги, об/мин
Толщина слоя резиста, нм Среднее
значение
толщины,
нм
Стандарт-
ное откло-
нение
s
, нм
Коэффициент
вариации
V
, %
Область измерения
1 2 3
4
2000
484,0 481,7 481,2 481,7 482,2
1,26
0,26
3000
396,9 395,9 396,2 394,6 395,9
0,96
0,24
4000
350,5 347,0 343,7 344,4 346,4
3,08
0,89
5000
308,0 304,1 304,3 305,5 305,5
1,79
0,59
6000
278,9 274,8 275,5 277,4 276,7
1,86
0,67
7000
261,8 260,2 253,2 254,9 257,5
4,12
1,60
Обработка результатов эксперимента проводилась в соответствии
со стандартом SEMI MF1618-1110 [17]. В результате были определены
средние значения толщин, стандартные отклонения и коэффициенты
вариации (см. таблицу).
Зависимость среднего значения толщины резиста от скорости вра-
щения центрифуги, а также технологический разброс толщин по по-
верхности образца приведены на рис. 6.
Найденные значения хорошо согласуются с данными из работы
[18]. Полученная зависимость толщины резиста от скорости враще-
ния центрифуги будет использоваться при выборе технологических
режимов нанесения пленок резиста Ultra-i 123-0.35 в диапазоне тол-
щин 250. . . 480 нм.
130 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6