Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии

Рис. 6. Зависимость толщины слоя

резиста Ultra-i 123-0.35 от скорости

вращения центрифуги

Заключение.

Выполнено ис-

следование характеристик и да-

на оценка однородности нане-

сения резиста Ultra-i 123-0.35

методом центрифугирования с при-

менением ИК-спектральной элли-

псометрии. В результате экстра-

гированы оптические константы

резиста Ultra-i 123-0.35 в ИК-

диапазоне длин волн от 2 до

33 мкм, а также определена зави-

симость толщины слоев резиста от

скорости вращения центрифуги (2000. . . 7000 об/мин).

Неоднородность толщины резиста по поверхности всех образцов

составила менее 2%, что свидетельствует о высоком качестве процес-

са нанесения.

Полученная зависимость толщины резиста от скорости вращения

центрифуги будет использоваться при выборе технологических режи-

мов нанесения пленок резиста Ultra-i 123-0.35 в диапазоне толщин

250. . . 480 нм. Данный выбор обычно обусловлен необходимостью по-

иска компромисса между разрешением (минимальным размером топо-

логических элементов) и селективностью травления (отношение глу-

бины травления функционального материала к травлению резиста) для

различных применений.

ЛИТЕРАТУРА

Моро У.

Микролитография. Принципы, методы, материалы. В 2-х т. / пер. с

англ. М.: Мир, 1990. Ч. 1. 605 с.

Progress

in Spectroscopic Ellipsometry: Applications from Vacuum Ultraviolet to

Infrared / J. Hilfiker, C. Bungay, R. Synowicki, T. Tiwald, C. Herzinger, B. Johs,

G. Pribil, J.A. Woollam // J. Vac. Sci. Technol. A. 2003. Vol. 21, I. 4. P. 1103–1108.

Survey

of Methods to Characterize Thin Absorbing Films with Spectroscopic

Ellipsometry / J. Hilfiker, N. Singh, T. Tiwald, D. Convey, S.M. Smith, J.H. Baker,

H.G. Tompkins // Thin Solid Films. 2008. No. 516. P. 7979–7989.

Use of Molecular

Vibrations to Analyze Very Thin Films with Infrared Ellipsometry

/ H.G. Tompkins, T. Tiwald, C. Bungay, A.E. Hooper // J. Phys. Chem. B. 2004.

Vol. 108, I. 12. P. 3777–3780.

Макеев М.О.

Жукова Е.А.

Исследование алмазоподобных покрытий методами

ИК-спектральной эллипсометрии и спектроскопии комбинационного рассеяния

света // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2013.

№ 7. С. 229–240. URL:

http://technomag.edu.ru/doc/597996.html

Application

of IR ellipsometry to determination of the film thickness of a

polytetrafluoroethylene sample modified in direct-current discharge / M.O. Makeev,

Yu.A. Ivanov, S.A. Meshkov, A.B. Gil’man and

M.Yu

. Yablokov // High Energy

Chemistry. 2011. Vol. 45., No. 6. P. 536–538.

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6 131