Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии

Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:

Макеев М.О., Зверев А.В., Родионов И.А. Исследование характеристик и мето-

дов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии // Вестник

МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2015. № 6. C. 125–134.

Please cite this article in English as:

Makeev М.О., Zverev А.V., Rodionov I.А. Research into characteristics and methods

of resist coating by infrared spectral ellipsometry.

Vestn. Mosk. Gos. Tekh. Univ.

im. N.E. Baumana, Priborostr.

[Herald of the Bauman Moscow State Tech. Univ., Instrum.

Eng.], 2015, no. 6, pp. 125–134.

134 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6