5 / 10
Рис. 4. Спектры эллипсометрических параметров
Ψ
(
а
) и
Δ
(
б
) образца, полу-
ченного при скорости вращения центрифуги 5000 об/мин:
1
— данные, вычисленные на базе модели, при угле падения 50
◦
;
2
— эксперимен-
тальные данные при угле падения 50
◦
;
3
— данные, вычисленные на базе модели,
при угле падения 70
◦
;
4
— экспериментальные данные при угле падения 70
◦
эллипсометрические модели исследуемых образцов, в которые были
включены слои резиста Ultra-i 123-0.35, хрома (толщина задана про-
изводителем подложек) и подложки стекла.
Оптические константы (
n
и
k
) стекла, хрома Cr и оксида хрома CrO
были введены на основе литературных данных [15, 16] и с учетом ана-
лиза проведенных измерений. Оптические константы резиста Ultra-i
123-0.35 были экстрагированы на базе формулы Коши и осциллято-
ра Лоренца (рис. 5). Получены параметры модели Коши:
A
= 1
,
55
;
B
= 0
,
09
мкм
2
;
C
= 0
,
14
мкм
4
. Установлена центральная частота ос-
циллятора Лоренца — 3384 см
−
1
. Определенные параметры модели
Коши могут применяться для моделирования оптических констант ре-
зиста Ultra-i 123-0.35 как в инфракрасном, так и в видимом диапазоне
длин волн.
Спектры эллипсометрических параметров, построенные на основе
модели, показаны на рис. 4. Видно, что экспериментальные и модель-
ные спектры совпадают со среднеквадратическим отклонением MSE
менее 10.
Толщину слоев резиста Ultra-i 123-0.35 определяли по критерию
наилучшего совпадения экспериментальных спектров
Ψ
и
Δ
и спек-
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6 129