Таблица 3
Матрица планирования и результаты второго эксперимента 2
2
№ опыта
x
1
x
2
x
1
x
2
H
, нм
v
тр
, нм/мин
r U
см
, В
p
, Па
t
, мин
1
+ 1 + 1 + 1 354
17,27 3,22 – 324 0,74 20
2
– 1 + 1 – 1 354
17,27 3,22 – 267 0,75 20
3
+ 1 – 1 – 1 395
11,29 3,59 – 279 0,73 35
4
– 1 – 1 + 1 367
18,35 3,34 – 330 0,74 20
Условия проведения этого эксперимента, т.е. значения не подвер-
гавшихся варьированию факторов, следующие: 250 Вт — мощность на
антенне; 200 Вт — мощность на столике; 100% — скорость турбины;
0,3 л/мин и 1,2 л/мин — расход аргона и гелия.
Получены следующие уравнения регрессии:
H
= 367
,
5 + 7
x
1
−
13
,
5
x
2
−
7
x
1
x
2
;
v
тр
= 16
,
045
−
1
,
765
x
1
+ 1
,
225
x
2
+ 1
,
765
x
1
x
2
;
r
= 3
,
3425 + 0
,
0625
x
1
−
0
,
1225
x
2
−
0
,
0625
x
1
x
2
;
U
см
=
−
300
,
0
−
1
,
5
x
1
+ 4
,
5
x
2
−
27
,
0
x
1
x
2
;
p
= 0
,
73 + 0
,
005
x
1
+ 0
,
015
x
2
−
0
,
01
x
1
x
2
.
(2)
Решая эти уравнения, можно прийти к заключению, что увеличе-
нию таких целевых характеристик процесса ПХТ, как глубина травле-
ния
H
и селективность
r
способствует снижение расхода фреона
f
CF
4
от 3,0 до 2,4 л/мин, а также увеличение тока подмагничивания
I
от
1,5 А до 2,0 А. Кроме того, можно считать установленным, что влия-
ние тока подмагничивания усиливается при снижении расхода фреона.
С указанными целевыми характеристиками процесса хорошо кор-
релирует формируемое на столике установки автосмещения напряже-
ние
U
см
. В то же время исследуемые во втором эксперименте факторы
практически не влияют на формируемое в вакуумной камере давле-
ние
p
.
Из уравнений регрессии (2) следует, что для увеличения глубины
травления и его селективности следует выбирать режимы, характери-
зуемые низкой скоростью травления.
Результаты профилометрических исследований образцов, приме-
нявшихся во втором эксперименте, приведены на рис. 3. Можно ви-
деть, что характер микрорельефа стабилизирован с обеспечением воз-
можности получения требуемого детерминированного функциональ-
ного профиля с вертикальными стенками, плоскими вершинами и впа-
динами. При этом режим опыта, результаты которого представлены на
рис. 3,
а
, обеспечивает полирующее травление и поэтому может быть
рекомендован в качестве рационального.
100 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 2
