Рис. 3. Профилограммы образцов после проведения опытов № 4 (
а
), № 3 (
б
),
№ 2 (
в
) и № 1 (
г
) второго эксперимента в соответствии с табл. 3
На основе применения результатов проведенных экспериментов
был разработан технологический процесс изготовления деталей ми-
крооптики с бинарной топологией функциональной поверхности. Этот
технологический процесс внедрен для производства изделия — би-
нарного фазового транспаранта, содержавшего шахматную клетчатую
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 2 101
