используются заряженные частицы, так как их легко ускорить до тре-
буемой энергии, то при бомбардировке диэлектрика встает вопрос о
нейтрализации поверхностного заряда, накапливающегося на заготов-
ке. Этот вопрос можно решить, применяя систему с самоподдержива-
ющимся высокочастотным разрядом [12] и с искусственным поддер-
жанием разряда с помощью ВЧ и магнитного полей [13], [14]. Для
эффективной работы ВЧ генераторов необходимо их согласование с
рабочей камерой.
Экспериментальные исследования.
Эксперименты проводили на
установке Caroline 15 PE производства ЗАО “ЭСТО–Вакуум”, исполь-
зуя “трансформаторно-связанную плазму” (ТСР-разряд) [15–17]. До-
стоинствами установки являются: высокая концентрация создаваемой
плазмы (порядка 10
12
см
−
3
)
, низкий ее потенциал относительно заго-
товки, возможность независимого регулирования плотности плазмы и
энергии ионов подачей отдельного смещения на подложку и высокая
степень равномерности ионного тока на подложку большого диаметра.
Основные технические характеристики установки Caroline 15 PE
Предельный вакуум в рабочей камере, Па . . . . 1,5
·
10
−
4
Рабочая частота на антенне, МГц . . . . . . . . . . . . 13,56
Частота напряжения смещения, МГц . . . . . . . . . 13,56
Мощность, подаваемая на столик, Вт . . . . . . . . До 499
Рабочий столик . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Изолированный, водоохлаждаемый,
с подачей гелия под подложку
Диаметр столика, мм . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 220
Диапазон рабочих давлений, Па . . . . . . . . . . . . . 0,01–20,0
Главная особенность установки Caroline 15 PE — большой размер
столика, предусматривающий обработку заготовок диаметром 200 мм.
Такой диаметр оптических деталей с микротопологическим рельефом
на этапе отработки технологии неприемлем. Поэтому было изгото-
влено специальное приспособление — блок, позволяющий подвергать
ПХТ образцы требуемого размера. Конструкция блока приведена на
рис. 1.
Рис. 1. Конструкция дополнительного блока к установке Caroline 15 PE для
реализации процесса ПХТ стекла
94 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 2
