КОНСТРУИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ
УДК 535.42:533.915:621.794.4
С. Б. О д и н о к о в, Г. Р. С а г а т е л я н
ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
ДИФРАКЦИОННЫХ И ГОЛОГРАММНЫХ
ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ
С ФУНКЦИОНАЛЬНЫМ МИКРОРЕЛЬЕФОМ
ПОВЕРХНОСТИ МЕТОДОМ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
Экспериментально решена проблема создания на поверхности
деталей из оптического стекла, являющегося диэлектриче-
ским материалом, бинарного функционального микрорельефа ме-
тодом плазмохимического травления на серийной установке
Caroline 15 PE. Получены зависимости скорости и селективности
травления стекла от основных факторов процесса. Установлен
режим, обеспечивающий полирующее травление оптического сте-
кла. Обоснован и представлен технологический процесс изготовле-
ния соответствующих оптических деталей.
E-mail:
Ключевые слова
:
компьютерная голография, дифракционные оптиче-
ские элементы, плазмохимия, оптическое стекло.
Совершенствование конструкций современных оптических систем
на основе использования таких деталей, как дифракционные решетки,
фазовые транспаранты, дифракционные оптические элементы (ДОЭ),
голограммные оптические элементы (ГОЭ) требует новых технологи-
ческих разработок [1]. Отличительной особенностью деталей указан-
ного класса является то, что для их изготовления необходимо фор-
мировать микропрофиль высотой до 1 мкм, с заданными геометриче-
скими параметрами как по глубине, так и по поверхности, причем
элементы профиля имеют характерные размеры вдоль поверхности,
соизмеримые с длиной световой волны (
20
мкм).
Особый интерес представляет изготовление указанных деталей из
оптического (неорганического) стекла. В этом случае для формирова-
ния микрорельефа неприемлемы как лезвийные и абразивные методы
обработки материалов резанием, так и методы обработки материалов
давлением. Неприемлемы также и методы жидкостного химическо-
го травления, поскольку оно отличается изотропностью, не обеспечи-
вая требуемых точностных характеристик микропрофиля. В настоящее
время для обработки материалов при изготовлении подобных деталей
применяют методы квантовой технологии, предполагающей исполь-
зование управляемых пучков частиц для формирования поверхностей
92 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 2
