заданного рельефа. Такая технология позволяет создавать управляе-
мые технологические комплексы [2].
Наиболее полно удовлетворяет предъявленным требованиям реак-
тивное ионное травление [3, 4], при котором осуществляется бомбар-
дировка материала заготовки направленным потоком ионов и ненапра-
вленным потоком радикалов, получаемых при диссоциации в плазме
технологического газа, содержащего химически активные компоненты
с энергиями ионов, не превышающими 20. . . 200 эВ. Травление опти-
ческого стекла, состоящего в основном из двуокиси кремния (SiO
2
)
,
осуществляется во фторсодержащей плазме атомами фтора и фтор-
содержащими радикалами CF
x
. При этом продуктами в газовой фазе
являются SiF
4
и молекулы СО, образующиеся путем окисления ради-
калов СF
x
кислородом, содержащимся в стекле. Поэтому адсорбции
радикалов и пассивирования поверхности не происходит. В случае пас-
сивации поверхности заготовки за счет осаждения полимерной пленки
возможна полная остановка травления.
Перспективным представляется применение разновидности реак-
тивно-ионного травления, которая называется плазмохимическим тра-
влением (ПХТ). Основным отличием методов ионно-плазменной об-
работки от ионно-лучевой является местоположение обрабатываемой
детали относительно среды, в которой создаются ионы рабочего газа.
При обработке ионными пучками, создаваемыми автономными ионны-
ми источниками, обрабатываемая деталь отделена от области газораз-
рядной плазмы. При ионно-плазменной обработке деталь помещается
непосредственно в газоразрядную плазму, являющуюся источником
бомбардирующих ионов.
Оптические стекла имеют важнейшую особенность — они являют-
ся диэлектриками. Поэтому имеющиеся наработки в области плазмо-
химии [5–8] не могут быть напрямую использованы в качестве руко-
водящих материалов для создания технологических процессов изгото-
вления деталей микроооптики методами ПХТ. Тем не менее в настоя-
щее время появились сообщения [9] о получении на стекле “Пирекс”
канавок глубиной и шириной 2 мкм при помощи плазмохимического
метода. Кроме того, в тонких слоях оксида кремния (диэлектрик), вы-
ращенного на кремнии (полупроводник), методом плазмохимии полу-
чаются канавки шириной 240 нм, глубиной 2 мкм и с вертикальными
стенками (не более 5
◦
) [10]. Появились сообщения об изготовлении
киноформных изделий плазмохимическим методом [11].
Изложенное свидетельствует об исключительной актуальности
проведения экспериментально-аналитических исследований по дан-
ной тематике.
Объектом исследования являются оптические стекла — диэлектри-
ческие многокомпонентные материалы. Поскольку при бомбардировке
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 2 93
