Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления - page 7

Рис. 2. Профилограммы образцов после проведения опытов № 4 (
а
), № 3 (
б
),
№ 2 (
в
) и № 1 (
г
) первого эксперимента
Можно видеть, что если профиль состоит из относительно плоских
вершин, имеющих выступы по краям, то продолжительность процесса
ПХТ избыточная. Образование выступов объясняется тем, что пред-
ставляющий собой маску хром, расположенный на вершинах профиля,
98 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 2
1,2,3,4,5,6 8,9,10,11,12,13
Powered by FlippingBook