Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии

Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий…

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2017. № 3

Bates D.M., Watts D.G.

Nonlinear regression analysis and its applications. John Wiley &

Sons, Inc., 1988. 370 p.

Измерение

распределения толщин многослойных пленочных структур методами спек-

тральной рефлектометрии / В.Г. Цепулин, В.Л. Толстогузов, В.Е. Карасик, А.В. Перчик,

А.П. Aрефьев // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2016. № 3. С. 3–12.

DOI: 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12

Цепулин Владимир Германович

— младший научный сотрудник НОЦ «Фотоника и

ИК-техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бау-

манская ул., д. 5, стр. 1).

Толстогузов Виктор Леонидович

— младший научный сотрудник НОЦ «Фотоника и

ИК-техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бау-

манская ул., д. 5, стр. 1).

Степанов Родион Олегович

— канд. техн. наук, заместитель директора НИИ «Радио-

электроники и лазерной техники» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация,

105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, стр. 1).

Карасик Валерий Ефимович

— д-р техн. наук, профессор кафедры «Лазерные и опти-

ко-электронные системы» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005,

Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, стр. 1).

Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:

Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Степанов Р.О., Карасик В.Е. Оценка погрешностей из-

мерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлек-

тометрии // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2017. № 3. C. 4–12.

DOI: 10.18698/0236-3933-2017-3-4-12

ERROR ESTIMATION OF MEASURING MULTILAYER FILM COATING

THICKNESS BY SPECTRAL REFLECTOMETRY METHOD

V.G. Tsepulin

v.tsepulin@bmstu.ru

V.L. Tolstoguzov

R.O. Stepanov

V.E. Karasik

Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation

Abstract

Keywords

This work focuses on an approach to error estimation of

measuring multilayer film coating thickness by spectral

reflectometry method. The approach is based on the

linearized regression model. The measurements of the

test coating sample showed that disagreement of random

error estimates, obtained by the proposed approach with

the experimental values is not more than 30 % for the

thickness measured with an accuracy of subnanometer

Multilayer film structures, reflecto-

metry, profilometry, thin films, thick-

ness measurement errors