5 / 9
В.Г. Цепулин, В.Л. Толстогузов, Р.О. Степанов
8
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2017. № 3
зоны 100 ×100 пикселей и найдено распределение тол-
щин. Выбор центральной зоны изображения обуслов-
лен тем, что угол падения излучения на образец изме-
няется в зависимости от расстояния от точки образца
до оптической оси. Для центра изображения этим из-
менением можно пренебречь и считать падение нор-
мальным.
Время экспонирования для каждого спектраль-
ного изображения в зависимости от интенсивности
источника излучения, чувствительности приемника и
пропускания компонентов оптической системы авто-
матически выбиралось так, чтобы регистрируемое
изображение полностью занимало динамический диа-
пазон. При регистрации серии спектральных изобра-
жений время экспонирования для каждой длины вол-
ны изменялось от оптимального до некоторого мини-
мального. Далее отношение времени экспонирования
к оптимальному времени будем называть коэффици-
ентом времени экспонирования
.
e
K
Для каждой длины волны и двух значений коэф-
фициента времени экспонирования (максимального
и минимального) на рис. 2 представлена плотность
распределения вероятности коэффициентов отраже-
ния, полученных в результате обработки спектраль-
ных изображений. Плотность вероятности отложена
по оси
x
для каждой длины волны и пропорциональ-
на ширине закрашенной области.
Рис. 2.
Зависимость коэффициента отражения эталонного образца (
1
) и его плотности
вероятности от длины волны для значений коэффициента времени экспонирования
K
e
= 0,2 (
2
) и 1 (
3
)
Рис. 1.
Схема экспери-
ментальной установки:
1
— широкополосный источ-
ник излучения;
2
— коллими-
рующая линза;
3
— исследуе-
мая пленочная структура;
4
—
объектив;
5
— светоделитель-
ный кубик;
6
— акустооптиче-
ский фильтр; 7 — фокусиру-
ющий объектив;
8
— матрич-
ный приемник излучения