7 / 11
s
опт
и
t
опт
— толщины воздушных промежутков после оптимизации;
l
— волновая аберрация рабочего волнового фронта;
d
АП
/
2
— половина
светового диаметра контролируемой АП;
d
п
/
2
— половина светового
диаметра плоскопараллельной пластины.
Приведенная в таблице волновая аберрация
l
рассчитана для слу-
чая, когда контролируемая поверхность идеальна. Поэтому она пред-
ставляет собой приборную погрешность интерферометра. Для обнару-
жения погрешности на контролируемой поверхности необходимо, что-
бы деформация волнового фронта, вызванная этой погрешностью, пре-
вышала собственную погрешность интерферометра в 5–10 раз. Сле-
довательно, интерферометр позволит обнаружить погрешность
δ
АП
на
контролируемой поверхности, вычисляемую по формуле
δ
АП
= (5
. . .
10)
l
2
,
(12)
где
l
— приборная погрешность.
С учетом формулы (12) на основании результатов расчета, приве-
денных в таблице, можно сделать следующие выводы:
1) интерферометр не пригоден для контроля большинства поверх-
ностей с малым эксцентриситетом (
ε <
3
);
2) АП с эксцентриситетом
ε
= 3
могут быть проконтролированы
на этом интерферометре с точностью не менее 0,5
λ
, если их
радиусы кривизны при вершине находятся в диапазоне значений
r
0
= 200
. . .
600
мм;
3) АП с эксцентриситетом
ε
= 5
могут быть проконтролированы с
точностью не менее 0,2
λ
, если их радиусы кривизны при вер-
шине находятся в диапазоне значений
r
0
= 300
. . .
1000
мм.
Как показали исследования, точность контроля возрастает с увели-
чением значения эксцентриситета.
Схема интерферометра с фотоэлектрической регистрацией ин-
терферограммы.
В рассмотренной схеме интерферометра (см. рис. 1)
интерференционная картина наблюдается на экране. Регистрация кар-
тины не предусмотрена, что является существенным недостатком этой
схемы. Усовершенствованная схема интерферометра с фотоэлектриче-
ской регистрацией интерферограммы приведена на рис. 3. Регистри-
рующая ветвь состоит из фокусирующего сферического зеркала
3
и
матричного приемника излучения (ПИ). Экран
5
препятствует прямо-
му попаданию излучения источника на приемник.
Особенностью приведенной схемы является то, что к точности сфе-
рического зеркала не предъявляются высокие требования, так как оно
вносит аберрации одновременно в оба интерферирующих пучка. Его
световой диаметр варьируется в пределах 65. . . 183 мм, а радиус кри-
визны — 100. . . 370 мм. Например, при контроле АП с уравнением
138 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 1