4 / 11
Рис. 2. Схема хода лучей в интерферометре
OF
1
=
r
0
ε
−
1
;
(2)
OF
2
=
r
0
ε
+ 1
,
(3)
где
r
0
— радиус кривизны при вершине контролируемой АП;
ε
— экс-
центриситет контролируемой АП.
Для совмещения центров кривизны рабочего и эталонного волно-
вых фронтов необходимо выполнить следующие условия:
s
=
d
+
t
+ (
OF
2
−
Δ) ;
(
s
−
Δ) +
d
+
t
=
OF
1
.
(4)
Используя формулы (1)–(4), находим
s
=
r
0
ε
ε
2
−
1
;
(5)
t
=
r
0
ε
2
−
1
−
d
n
.
(6)
Формулы (5), (6) позволяют определить положение пластины в систе-
ме интерферометра.
Эталонный волновой фронт создан лучами, отраженными от пер-
вой поверхности пластины, и имеет сферическую форму. Рабочий вол-
новой фронт деформируется не только вследствие наличия погрешно-
стей контролируемой поверхности, но и вследствие сферической абер-
рации
4
s
0
(см. рис. 2) пластины в результате двойного прохождения
лучей через нее. Сферическая аберрация плоскопараллельной пласти-
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 1 135