6 / 11
диаметром 10. . . 60 мм. Для расчета были выбраны следующие ис-
ходные данные: длина волны источника излучения
λ
= 632
,
8
нм;
толщина плоскопараллельной пластины
d
= 3
мм; показатель пре-
ломления пластины из стекла
n
= 1
,
5146
для
λ
= 632
,
8
нм; синус
переднего апертурного угла
sin
σ
1
= 0
,
1
. В качестве коррекцион-
ных параметров заданы толщины воздушных промежутков
s
и
t
(см.
рис. 1). При оптимизации выдерживалось равенство расстояний от
фокуса микрообъектива до первой поверхности плоскопараллельной
пластины и от первой поверхности плоскопараллельной пластины до
плоскости изображения. Результаты аберрационного расчета значений
параметров рабочей ветви интерферометра приведены в таблице, где
r
0
— радиус кривизны при вершине контролируемой АП;
s
и
t
— тол-
щины воздушных промежутков, вычисленные по формулам (5), (6);
Значения параметров рабочей ветви интерферометра
Исходные параметры
Параметры после оптимизации
r
0
, мм
s
, мм
t
, мм
s
опт
, мм
t
опт
, мм
l
, длин волн
d
АП
/
2
, мм
d
п
/
2
,
мм
Эксцентриситет
ε
= 1
,
5
50
60 38,2 76,41 53,42
1,064
13,5
51,5
80
96 62,02 111,84 76,80
0,522
19,4
69,0
100 120 78,02 135,67 92,61
0,033
23,5
81,3
120 144 94,02 159,55 108,48
0,294
27,5
93,8
130 156 102,02 171,51 116,43
0,842
29,5
100,1
150 180 118,02 195,43 132,35
0,667
33,6
112,7
Эксцентриситет
ε
= 2
100 66,67 31,35 72,92 36,43
0,441
11,3
23,6
150 100 48,02 106,28 53,10
0,174
16,4
33,8
200 133,33 64,69 139,63 69,76
0,408
21,4
44,1
250 166,67 81,35 172,97 86,43
0,091
26,5
54,3
300 200 98,02 206,32 103,10
0,286
31,5
64,6
Эксцентриситет
ε
= 3
200 75 23,02 78,78 25,32
0,133
10,7
16,1
250 93,75 29,27 97,55 31,58
0,061
13,3
19,9
300 112,50 35,52 116,33 37,84
0,084
15,8
23,7
400 150,00 48,02 153,85 50,35
0,074
20,8
31,3
500 187,50 60,52 191,38 62,86
0,106
25,9
38,9
600 225 73,02 228,90 75,37
0,107
30,9
46,5
Эксцентриситет
ε
= 5
300 62,50 10,52 66,05 11,92
0,067
8,1
10,0
500 104,17 18,85 107,85 20,29
0,015
13,1
16,3
800 166,67 31,35 170,44 32,82
0,054
20,7
25,8
1000 208,33 39,69 212,14 41,16
0,038
25,7
32,11
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 1 137