3 / 11
Рис. 1. Принципиальная схема интерферометра для контроля выпуклых гипер-
болических отражающих поверхностей:
1
— лазер;
2
— микрообъектив;
3
— экран;
4
— полупрозрачная плоскопараллельная
пластина
Небольшие наклоны пластины или смещение ее в продольном на-
правлении приведут к образованию интерференционных полос или
колец, по виду которых можно сделать вывод о качестве контроли-
руемой поверхности. Интерферометр наиболее удобен для контроля
поверхностей с небольшими диаметрами и малыми апертурами.
Основные соотношения для габаритного и аберрационного
расчета ветвей интерферометра.
Найдем расстояния
s
и
t
(см.
рис. 1), определяющие положение плоскопараллельной пластины от-
носительно фокуса микрообъектива и контролируемой АП для случая,
когда полупрозрачное покрытие нанесено на первой поверхности пла-
стины. В реальной схеме интерферометра пластина имеет конечную
толщину
d
. Прошедшие через пластину лучи (рис. 2) оказываются сме-
щенными вдоль оптической оси на величину
Δ
. Для параксиального
луча эта величина определяется по формуле [2]
Δ =
n
−
1
n
d,
(1)
где
n
– показатель преломления стекла пластины.
Расстояния от вершины (точка
O
на рис. 2) выпуклой гиперболи-
ческой поверхности до геометрических фокусов
F
1
и
F
2
находятся по
формулам [1]:
134 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 1