УДК 681.787
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВЫПУКЛЫХ
ГИПЕРБОЛИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ МАЛОГО ДИАМЕТРА
Д.Т. Пуряев
,
Н.Н. Кулакова
,
Л.И. Бурмак
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация
e-mail:
nnkulakova@gmail.comРассмотрен контроль выпуклых гиперболических поверхностей малого диаме-
тра на лазерном интерферометре Физо и указана область их применения.
Приведены обзор существующих методов контроля таких асферических по-
верхностей, основные зависимости, описывающие положение оптических эле-
ментов в схеме интерферометра, а также аберрационные соотношения. Про-
веден аберрационный расчет рабочей ветви интерферометра. На основании
этого расчета представлены результаты исследования диапазонов эксцентри-
ситетов и радиусов кривизны при вершине контролируемых гиперболических
отражающих поверхностей и соответствующей этим диапазонам точности
контроля. Предложена усовершенствованная схема интерферометра с реги-
страционной ветвью.
Ключевые слова
:
интерферометр Физо, выпуклое гиперболическое зеркало, кон-
троль качества оптической поверхности, волновая аберрация.
INTERFEROMETER TO CONTROL CONVEX
HYPERBOLIC SURFACES OF SMALL DIAMETER
D.T. Puryaev
,
N.N. Kulakova
,
L.I. Burmak
Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation
e-mail:
nnkulakova@gmail.comControl of small diameter convex hyperbolic surfaces on Fizeau interferometer is
analyzed, and the field of these surfaces application is specified. Survey of existing
methods to control such aspherical surfaces, principal dependencies describing
optical element positions into the interferometer, and aberration relationships, are
presented. Aberration analysis for operating branch of interferometer is performed.
Further, investigation results are presented for eccentricity ranges and radii of
curvature at the apex of controlled hyperbolic reflecting surfaces, and for the control
precision corresponding to those ranges. Modified layout of interferometer with the
registration branch is proposed.
Keywords
:
Fizeau interferometer, convex hyperbolic mirror, control of optical surface
quality, wave aberration.
Оптические элементы с выпуклыми гиперболическими поверхно-
стями находят широкое применение в медицинских оптических прибо-
рах, объективах специального назначения, астрономической оптике и
других системах. Качество этих асферических поверхностей (АП) все-
гда определяет качество прибора. Под качеством поверхности понима-
ют соответствие изготовленной поверхности ее теоретической форме.
Для высокоточных оптических поверхностей допустимое отклонение
действительной формы поверхности от ее теоретического вида ис-
числяется долями длины волны света. Известны следующие методы
132 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 1