8. О ц е н к а влияния многоциклового изгиба на термодеформационные харак-
теристики упругошарнирных балок тепловых микроактюаторов / Козлов Д.В.,
Корпухин А.С., Смирнов И.П. Нано- и микросистемная техника. – 2011. – (в
печати).
Статья поступила в редакцию 10.12.2010
Дмитрий Владимирович Козлов родился в 1986 г., окон-
чил МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2009 г. Инженер-исследователь
ОАО “Российская корпорация ракетно-космического прибо-
ростроения и информационных систем”, аспирант МГТУ
им. Н.Э. Баумана. Автор одной научной работы. Специали-
зируется в области микро- и наноэлектроники, микроэлектро-
механических систем, метрологии.
D.V. Kozlov (b. 1986) graduated from the Bauman Moscow
State Technical University in 2009. Post-graduate of the Bauman
Moscow State Technical University. Engineer-researcher of JSC
“Russian Corporation of Rocket and Space Instrument Engineering
and Information Systems”. Author of publication in the field of micro- and nanoelectronics,
microelectromechanical systems, metrology.
Игорь Петрович Смирнов родился в 1960 г., окончил Москов-
ский институт стали и сплавов в 1983 г. Начальник группы
ОАО “Российская корпорация ракетно-космического приборо-
строения и информационных систем”. Автор одной научной
работы. Специализируется в области микроэлектроники, тех-
нологии МЭМС.
I.P. Smirnov (b. 1960) graduated from the Moscow Institute
of Steel and Alloys in 1983. Head of group of JSC “Russian
Corporation of Rocket and Space Instrument Engineering and
Information Systems”. Author of 1 publication in the field
of microelectronics and technology of microelectromechanical
systems.
Андрей Александрович Жуков родился в 1961 г., окончил Мо-
сковский авиационно-технологический институт в 1984 г. Д-р
техн. наук, доцент, начальник отдела ОАО “Российская кор-
порация ракетно-космического приборостроения и информа-
ционных систем”. Автор 62 научных работ в области микро-
электроники, наноэлектроники, технологии МЭМС.
A.A. Zhukov (b. 1961) graduated from the Moscow Aviation and
Technological Institute in 1984. D. Sci. (Eng.), assoc. professor,
head of department of JSC “Russian Corporation of Rocket and
Space Instrument Engineering and Information Systems”. Author
of 62 publications in the field of microelectronics, nanoelectronics
and technology of microelectromechanical systems.
Вадим Анатольевич Шахнов родился в 1941 г., окончил МВТУ
им. Н.Э. Баумана в 1966 г. Д-р техн. наук, профессор, чл.-корр.
РАН, заведующий кафедрой МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор
186 научных работ в области микро- и наноэлектроники, ра-
диоэлектроники, технологии производства ЭВМ, микропро-
цессорных средств и систем, надежности электронной аппа-
ратуры.
V.A. Shakhnov (b. 1941) graduated from the Bauman Moscow
Higher Technical School in 1966. D. Sc. (Eng.), professor,
corresponding member of the Russian Academy of Sciences,
head of department of the Bauman Moscow State Technical
University. Author of 186 publications in the field of micro- and
nanoelectronics, radio-electronics, technology of computer manufacturing, microprocessor
aids and systems, reliability of electronic apparatus.
94 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2
