Рис. 3. Алгоритм проведения измерений силовых характеристик балок тепло-
вых микроактюаторов
KSVinstruments CAM101 таким образом, чтобы хвостовик касался сво-
бодного конца рычага. При этом образец должен попадать в поле зре-
ния высокоскоростной камеры
7
гониометра. Кольцом фокусировки
8
камеру настраивают на резкость. Винтами
9
для повышения точно-
сти измерений устанавливают горизонтальность предметного столика.
При подъеме образца теплового микроактюатора с помощью регуля-
тора
10
и давлении на свободный конец рычага весы показывают силу,
с которой балка микроактюатора давит на чашу весов. Вместо пред-
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2 87
