Рис. 4. Типовая силовая характери-
стика балок тепловых микроактюа-
торов
Проведены испытания по опре-
делению зависимости силовых ха-
рактеристик теплового миркоактюа-
тора от толщины напыленного свер-
ху (со стороны полиимида) слоя Al.
Результаты эксперимента приведе-
ны на рис. 5. Видно, что зависи-
мость нагрузка–угол остается прак-
тически неизменной относительно
первоначального угла отклонения, в
абсолютном же значении нагрузка
на хвостовике микроактюатора сни-
жается с увеличением толщины слоя
Рис. 5. Зависимость силовых характеристик балок микроактюаторов от угла
отклонения подвижного элемента (
а
) и толщины напыленного слоя Al (
б
):
— 0,1 мкм;
•
— 0,3 мкм;
N
— 0,5 мкм;
O
– 0,7 мкм;
1
и
2
— угол отклонения
соответственно 20
◦
и от 40
◦
до 20
◦
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2 89
