Al, что вызвано уменьшением первоначального угла отклонения по-
движного элемента. Таким образом, при напылении слоев Al толщи-
ной до 0,7 мкм происходит уменьшение первоначального угла откло-
нения балки микроактюатора на 60%, что может быть вызвано увели-
чением жесткости конструкции.
На рис. 6 приведены результаты исследования влияния на сило-
вые характеристики эффективной толщины
b
(см. рис. 1) полиимид-
ного слоя в канавке после селективного плазмохимического травле-
ния кремния с обратной стороны микроактюатора. Следует отметить
уменьшение значений нагрузок, вызванное уменьшением эффектив-
ной толщины
b
полиимида, приводящее к изменению геометрических
Рис. 6. Зависимость силовых характеристик балок тепловых микроактюаторов
от угла отклонения подвижного элемента (
а
) и толщины рабочей части полии-
мида в канавке после травления кремния (
б
):
45 мкм — , 43 мкм —
•
; 41 мкм —
N
; 36 мкм — ; 30 мкм — ; 27 мкм — ; 21 мкм
—
Δ
;
1
и
2
— угол отклонения соответственно 20
◦
и от 40
◦
до 20
◦
90 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2
