Рис. 7. Зависимость силовых характеристик балок тепловых микроактюаторов
при различном числе циклов изгиба от угла отклонения подвижного элемен-
та микроактюатора с внесенными в структуру нанотрубками (
а
) и без нано-
трубок (
б
)
что травление кремния обусловливает экспоненциальное уменьшение
нагрузки относительно первоначального угла отклонения в 9 раз, что
позволяет рассматривать травление как один из способов регулиро-
вания нагрузки на балках тепловых актюаторов. Также эксперименты
показали целесообразность ввода нанотрубок в структуру балок те-
пловых актюаторов в связи с повышением прочностных характеристик
устройства и их стабильностью вплоть до 20 миллионов циклов изгиба
балки микроактюатора. Полученные данные важны и необходимы для
дальнейшего изучения устройства, дают возможность создания ми-
кроактюаторов с заранее заданными зависимостями нагрузок от углов
поворота, позволяют расширить и более точно представлять область
92 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2
