СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. К о л о с о в С. А., К л е в к о в Ю. В., П л о т н и к о в А. Ф. Электрические
свойства мелкозернистых поликристаллов CdTe // Физика и техника полупро-
водников. – 2004. – Т. 38, № 4. – С. 473–478.
2. Д о щ а н о в К. М. Температурная зависимость электрических свойств поли-
кристаллического кремния в темноте и при воздействии солнечного излучения
// Физика и техника полупроводников. – 1997. – Т. 31, № 8. – С. 954–956.
3. П о л и к р и с т а л л и ч е с к и е полупроводники. Физические свойства и
применения / Пер. с англ. под ред. Г. Харбеке. – М.: Мир, 1989. – 344 с.
4. З е б р е в Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники: Учеб. посо-
бие. – М.: МИФИ, 2008. – 288 с.
5. З е е г е р К. Физика полупроводников / Пер. с англ. под ред. Ю.К. Пожелы. –
М.: Мир, 1977. – 616 с.
6. С м и т Р. Полупроводники / Пер. с англ. – М.: Мир, 1982. – 560 с.
Статья поступила в редакцию 23.06.2010
Андрей Александрович Глушко родился в 1986 г., окончил
МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2009 г. Аспирант кафедры “Проекти-
рование и технология производства электронной аппаратуры”
МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор 10 научных работ в области
моделирования элементов КМОП сверхбольших интегральных
схем.
A.A. Glushko (b. 1986) graduated from the Bauman Moscow
State Technical University in 2009. Post-graduate of “Design and
Technology of Production of Electronic Apparatus” department
of the Bauman Moscow State Technical University. Author of 10
publications in the field of simulation of CMOS elements of very
large-scale integration circuits.
Вадим Анатольевич Шахнов окончил МВТУ им. Н.Э. Баумана
в 1966 г. Д-р техн. наук, профессор, член-корреспондент РАН,
заведующий кафедрой “Проектирование и технология про-
изводства электронной аппаратуры” МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Автор более 180 научных работ в области наукоемких и ин-
формационных технологий.
V.A. Shakhnov graduated from the Bauman Moscow Higher
Technical School in 1966. D. Sc. (Eng.), professor, corresponding
member of RAS, head of “Design and Technology of Production
of Electronic Apparatus” department of the Bauman Moscow State
Technical University. Author of more than 180 publications in the
field of science intensive and information technologies.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 1 75
