Видно, что сопротивление в рабочем температурном диапазоне ме-
няется от 9,5 до 5,3 кОм/ . Это вполне удовлетворяет требованиям,
предъявляемым к резисторам с отрицательным температурным коэф-
фициентом.
Выводы.
1. На основе экспериментальных данных установлено,
что межкристаллитный барьер практически не меняется при вариаци-
ях концентрации примеси (изменение составляет не более 6%). Такая
зависимость высоты барьера от концентрации примеси возможна при
наличии двух составляющих — постоянной составляющей и перемен-
ной, определяемой поверхностными состояниями на границе зерна.
В данном случае переменная составляющая пренебрежимо мала, что
и объясняет практическое отсутствие зависимости высоты барьера от
концентрации.
2. Проведена экстраполяция температурной зависимости для опре-
деления сопротивления резистора.
3. При заданных размерах зерен и межзеренных границ проводи-
мость поликремния обусловлена преодолением электронами потенци-
альных барьеров на границах зерен за счет термоэлектронной эмиссии.
4. Определен вид зависимости подвижности носителей от темпе-
ратуры. Установлено, что наблюдается обратно пропорциональная за-
висимость сопротивления от суммарной дозы легирования в заданном
диапазоне ее изменения.
5. Добавленная в САПР TCAD модель подвижности позволяет с
достаточной для практических целей точностью рассчитывать темпе-
ратурные зависимости удельного поверхностного сопротивления рези-
сторов на основе поликремния (расхождение между расчетной и экс-
периментальной температурными зависимостями сопротивления со-
ставляет не более 5%).
Таким образом, предложен эффективный метод оценки параметров
для модели подвижности в поликристаллическом кремнии. Эффектив-
ность метода подтверждена малым расхождением между результатами
моделирования и экспериментальными данными.
Авторы выражают благодарность А.С. Новоселову за проведенные
измерения и предоставленные материалы, а также Е.П. Михальцову за
предоставленные фотографии поликремниевых структур, сделанные в
НИИСИ РАН.
Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ
(
грант 09-
07-00162
)
и Федеральной целевой программы “Научные и научно-
педагогические кадры инновационной России” на 2009–2013 годы”.
74 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 1
